晶圆固化灯用反射器
避免灯泡爆裂损坏晶圆
在晶圆固化过程中,如果灯泡发生爆裂,那不仅仅是设备停机的问题,而是一场真正的灾难。想象一下:石英管在重负荷下破裂,玻璃碎片和卤素气体就会飞溅到硅片上,造成一片混乱。这就是为什么我们设计的反射器不仅仅是光亮的金属片——它们其实是第一道防线。
控制混乱的局面
我们的反射器采用“深...
带金质反射器的红外线灯泡
停止为设备内部壁面加热 为半导体加工设备内部提供热量其实是一件麻烦事。虽然需要向晶圆或基底输送大量热量,但同时又不能让这些热量渗透到设备的内部壁面中。
当热量四处扩散时,设备的侧壁就会吸收这些热量。这样一来,设备表面就会变得非常烫,而冷却系统则不得不持续工作以防止设备过热损坏。
关键在于使用黄金反...
红外灯用铝制反射器
铝制反射镜红外灯:精准控温,零浪费
我们设计这款铝制反射镜红外灯的目的,就是将热量精确地施加在需要的地方,而不会扩散到其他地方。在半导体和精密制造领域,不必要的热量不仅会造成资源浪费,还可能导致设备过热、损坏昂贵的零部件,甚至引发安全隐患。
功率、电压与结构——量身定制以满足需求 定向加热的前提是...