避免灯泡爆裂损坏晶圆 在晶圆固化过程中，如果灯泡发生爆裂，那不仅仅是设备停机的问题，而是一场真正的灾难。想象一下：石英管在重负荷下破裂，玻璃碎片和卤素气体就会飞溅到硅片上，造成一片混乱。这就是为什么我们设计的反射器不仅仅是光亮的金属片——它们其实是第一道防线。 控制混乱的局面 我们的反射器采用“深...

在光刻车间里，决定光刻过程热状态的因素首先是软烘和硬烘阶段。如果晶圆的温度出现1.5摄氏度的偏差，或者某个区域过冷，那么晶圆上的关键尺寸就会迅速发生变化。这样一来，整批产品都会被报废，生产流程也会因此受阻。 为了保持稳定的温度状态，我们专门设计了用于固化光阻的红外灯。这种灯光能够快速将能量传递到光...