晶圆用中波红外加热器

在光刻车间，烤箱灯亮起，钟铃升起，你等待晶圆达到设定点。不是“接近”，而是设定点。每一次运行都是如此。 软烘烤偏移会改变光刻胶的粘度和驻波行为。硬烘烤不均匀会在边缘留下残余物，改变反射凹槽深度，并将CD控制变成日常的挑战。当热均匀性出现偏差时，你开始不信任设备，追逐异常而不是正常运行工艺窗口。 中...