光刻胶固化红外灯

在光刻车间里，决定光刻过程热状态的因素首先是软烘和硬烘阶段。如果晶圆的温度出现1.5摄氏度的偏差，或者某个区域过冷，那么晶圆上的关键尺寸就会迅速发生变化。这样一来，整批产品都会被报废，生产流程也会因此受阻。 为了保持稳定的温度状态，我们专门设计了用于固化光阻的红外灯。这种灯光能够快速将能量传递到光...