用于 Fab 灯的替换灯丝

在芯片制造过程中，所谓的“温和烘烤”并非简单的步骤而已——它实际上是为整个光刻流程提供稳定温度的关键环节。如果晶圆表面的温度偏差达到0.5℃，那么CD精度就会受到影响。此时，线条的宽度也会出现变化，进而导致芯片的合格率下降。虽然原厂生产的灯管也能发出足够的光线，但只有专为该工艺设计的替代灯丝才能确...