오존이 없는 적외선 램프

오븐을 기다리는 일은 그만두세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 가열하는 방법 강제 대류 방식에 대해 솔직히 말하자면, 이건 구식 방법입니다. 결국 큰 공간의 공기를 가열한 다음, 그 열이 웨이퍼까지 전달되기를 기다리는 것에 불과합니다. 문제는 시간이 너무 오래 걸린다는 점...