LCD 패널 공장을 위한 적외선 히터
LCD 패널 제조에서의 열 관리 LCD 제조 현장에서 열 드리프트는 네온 사인처럼 드러나지 않는다. 그것은 조용히 오버레이 마진을 소모하고, CD 균일성의 나사를 조이고, 포토레지스트 프로파일을 목표에서 밀어낸다. 베이크 단계에서 유리 전체에서 설정 온도를 유지할 수...
대량 구매 적외선 전구 for fab
공정 현장에서 상황은 익숙할 것이다—포토레지스트 베이크 시 0.5도 정도의 편차만 있어도 선폭이 변동하고 CD 예산을 침식하며 다수의 웨이퍼가 폐기물로 전락한다. 팹 내 대용량 적외선 벌브는 단순한 히터가 아니다. 코팅/베이크 트랙과 경화 모듈에서 열 계측의 기준점...