真空対応の赤外線ヒーター

スマートファブで効果的なIRヒーターを活用するには もしスマートファブを構築しているのであれば、古いタイプの抵抗加熱方式ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。その方式は遅く、非効率的です。高純度の半導体や薄膜を扱う場合には、直接対象物に熱を与える手段が必要です。そこで役立つのが、真空環...