工业晶圆干燥系统加热器

在制造现场，一旦晶圆离开清洗槽，计时器就会开始计时。残留的水分是个大问题——它会导致晶圆上出现污渍，而哪怕只有一处水痕，都可能让整条生产线陷入停摆状态。因此，不能使用那种只能跟随设定温度变化的加热器，而需要那种能够始终保持恒定温度的加热器，这样才能确保整个晶圆的温度都处于稳定状态。 从技术层面来看...