超纯水加热灯

在300毫米光刻工艺中，即使是0.5度的温度变化，也足以导致晶圆的尺寸不符合标准，进而让大量晶圆被废弃。那些超纯水加热灯并非可有可无的附加设备，它们实际上起到了稳定光刻工艺的作用，确保在1-100级洁净室环境中，光刻过程的稳定性。 这种加热灯采用短波红外技术，该技术能够有效利用水的吸收特性，从而实...