Việc sấy khô các tấm wafer cảm biến MEMS sau quá trình làm sạch bằng hóa chất là một công việc đầy rủi ro. Tại sao ư? Bởi vì bạn đang chơi với lửa vậy. Khi có những hơi hóa chất dễ cháy hoặc nổ tồn tại trong không khí, chiếc đèn hồng ngoại thông thường không còn là công cụ hữu ích nữa; ngược lại, nó lại trở thành nguyên nhân gây ra hỏa hoạn. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hoặc một điểm nóng trên các đầu nối điện thôi cũng đủ khiến mọi thứ bùng cháy. Đó là tình huống kinh hoàng khiến các nhà quản lý phải lo lắng suốt đêm.
Ngăn chặn tia lửa
Chúng tôi quyết định không sử dụng các loại đèn hoạt động ngoài trời nữa. Thay vào đó, chúng tôi đặt ống thạch anh vào bên trong một lớp vỏ kín, có khả năng chống hóa chất. Có thể coi đó như một “lớp vỏ bảo vệ”. Lớp vỏ này giúp các tiếp xúc điện được cách ly hoàn toàn khỏi không khí xung quanh. Nhờ đó, các hợp chất hữu cơ bay hơi không thể tiếp cận được các đầu nối điện. Tuy nhiên, các lớp kín này đôi khi cũng bị hư hỏng. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng các miếng đệm làm từ vật liệu fluorocarbon có khả năng chịu nhiệt cao. Chúng có thể chịu được sự thay đổi nhiệt độ liên tục mà không bị hư hỏng. Chúng tôi cũng chọn loại miếng đệm phù hợp với áp suất cụ thể, vì nếu lớp kín bị hỏng, hơi hóa chất sẽ xâm nhập vào bên trong. Và điều đó là điều chúng tôi không thể chấp nhận được.
Cân bằng nhiệt độ
Chúng tôi sử dụng ánh sáng hồng ngoại bước sóng ngắn. Ánh sáng này tác động nhanh lên bề mặt wafer, giúp wafer ít ở trong “vùng nguy hiểm” hơn. Chúng tôi điều chỉnh công suất đèn sao cho chất lỏng bay hơi nhanh, nhưng vẫn giữ được nhiệt độ của wafer ở mức an toàn. Tuy nhiên, có một vấn đề: do đèn được đặt trong lớp vỏ kín, nhiệt độ không thể thoát ra ngoài như khi sử dụng đèn thông thường. Điều này khiến đèn phải hoạt động ở nhiệt độ cao hơn. Bạn cần phải điều chỉnh hệ thống làm mát và luồng khí sao cho phù hợp, nếu không, lớp thạch anh hoặc các lớp kín sẽ bị hư hỏng.
Lắp đặt dễ dàng
Điều tuyệt vời nhất là những thiết bị này được thiết kế để thay thế trực tiếp cho các mô-đun sấy hiện có. Vì nguồn nhiệt được cách ly, bạn không cần phải xây dựng những chiếc hộp chống nổ lớn xung quanh toàn bộ máy móc. Diện tích sử dụng vẫn được giữ nguyên, mặt bằng sản xuất vẫn sạch sẽ, và bạn cũng có thể yên tâm hơn vì biết rằng thiết bị sẽ không nổ tung.