Tại sao chúng ta từ bỏ những lò nướng cũ và chuyển sang sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại
Trong thời gian dài, việc chế tạo chip bán dẫn vẫn phụ thuộc vào những lò nướng kiểu đối lưu khổng lồ. Nhưng thực tế là chúng đã trở thành thứ lỗi thời rồi. Giờ đây, chúng ta đang chuyển sang sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại. Lý do chính là vì phương pháp này giúp đạt được các tiêu chuẩn “xanh” và không chứa chất thủy ngân mà mọi người đang hướng tới hiện nay.
Thay vì sử dụng không khí nóng để làm nóng wafer, tia hồng ngoại sử dụng bức xạ điện từ để trực tiếp tác động lên bề mặt wafer. Không cần qua bất kỳ trung gian nào.
Đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết
Hãy tưởng tượng cách hoạt động của lò nướng kiểu đối lưu: bạn làm nóng không khí, sau đó không khí đó mới làm nóng wafer. Đó là cách lãng phí năng lượng.
Còn tia hồng ngoại thì khác. Nó trực tiếp tác động lên lớp phim bảo vệ hoặc dung môi trên bề mặt wafer, từ đó kích thích phản ứng ngay lập tức. Điều tốt nhất là chúng ta có thể loại bỏ những chất xúc tác độc hại và chất ổn định chứa thủy ngân mà trước đây vẫn được sử dụng phổ biến.
Chúng ta thường sử dụng tia hồng ngoại tần số ngắn cho mục đích này. Vì nhiệt lượng được truyền đi rất nhanh, nên wafer chỉ cần ở trong vùng gia nhiệt trong thời gian ngắn. Thời gian ngắn hơn có nghĩa là chi phí điện năng cũng giảm đi. Rất đơn giản phải không?
Những khó khăn trong quá trình áp dụng
Tuy nhiên, bạn không thể đơn giản thay thế lò nướng cũ bằng bóng đèn tia hồng ngoại được. Bóng đèn này tạo ra lượng nhiệt lớn hơn rất nhiều. Nếu khung máy không được thiết kế phù hợp, các cảm biến và linh kiện điện tử sẽ bị hỏng. Bạn cần có hệ thống làm mát hiệu quả để bảo vệ các linh kiện khác.
Ngoài ra, còn có vấn đề liên quan đến việc gia nhiệt quá mức. Nếu băng tải di chuyển quá chậm, wafer sẽ bị biến dạng. Bạn cần điều chỉnh cường độ ánh sáng và tốc độ di chuyển của băng tải sao cho nhiệt độ phù hợp.
Bảo vệ Trái Đất
Điểm tốt của phương pháp sử dụng tia hồng ngoại là nó không thải ra khí thải từ quá trình đốt cháy. Không có chất VOC nào được thải ra từ bộ phận gia nhiệt.
Khi thời gian sấy khô được rút ngắn từ vài phút xuống vài giây, lượng khí thải carbon cũng giảm đi. Đó là cách tuyệt vời để thay thế những lò nướng cũ, gây lãng phí năng lượng và biến phòng sạch thành nơi có nhiệt độ cao.