Ngăn chặn tình trạng ô nhiễm bởi các hạt trong phòng sạch loại Class 100
Nếu bạn đang quản lý một phòng sạch loại Class 100 dùng trong nhà máy sản xuất chip bán dẫn, chắc hẳn bạn đã biết rõ những vấn đề phát sinh trong môi trường này. Vấn đề lớn nhất chính là sự tiết ra khí từ các bộ phận gia nhiệt. Hầu hết các bộ phận gia nhiệt thông thường đều gây ra vấn đề trong môi trường này. Ngay khi chúng hoạt động ở nhiệt độ cao, chúng sẽ bắt đầu giải phóng các hạt nhỏ hoặc các chất hữu cơ dễ bay hơi. Chỉ cần một hạt nhỏ hay một luồng khí nhỏ thôi cũng đủ để làm hỏng các tấm wafer. Điều này thật đáng phiền phức.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng bộ đèn hồng ngoại làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao, kết hợp với dây điện được phủ lớp Teflon (PTFE).
Tại sao phương pháp này hiệu quả?
Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao để làm vỏ đèn. Lý do rất đơn giản: thạch anh không bị “khói” hay phân hủy khi ở nhiệt độ cao. Nó vẫn giữ nguyên trạng và hoạt động bình thường mà không bị ảnh hưởng bởi bất cứ yếu tố nào.
Về phần dây điện, chúng tôi chỉ sử dụng dây điện được phủ lớp PTFE. Tại sao ư? Bởi đây là chất duy nhất không bị vỡ thành bụi hay giải phóng khí khi ở nhiệt độ cao. Nếu bạn sử dụng dây điện làm từ PVC hoặc silicone, bạn sẽ khiến tất cả các cảm biến trong phòng sạch hoạt động bất thường. Hơn nữa, điều này còn khiến cho bề mặt các tấm wafer bị ô nhiễm. Điều này rõ ràng không tốt chút nào.
Điểm khó trong việc lắp đặt:
Để đảm bảo hiệu suất gia nhiệt tối ưu, chúng tôi cần đặt mọi thứ ở vị trí gần nhau nhất có thể. Nhưng điều này lại gây ra vấn đề về việc tích tụ nhiệt. Mặc dù PTFE có khả năng chịu nhiệt tốt, nhưng bạn không thể đặt dây điện trực tiếp lên bề mặt thạch anh được. Bạn cần có khoảng cách nhỏ giữa dây điện và bề mặt thạch anh để dây điện có thể hoạt động bình thường.
Chúng tôi cũng cần chú ý đến công suất của bộ đèn. Thật dễ muốn tăng công suất để đạt tốc độ gia nhiệt nhanh hơn, nhưng đó là một rủi ro lớn. Công suất quá cao sẽ gây áp lực lớn lên các bộ phận liên quan đến thạch anh.
Kết luận:
Cuối cùng, bạn chỉ cần một hệ thống gia nhiệt hoạt động tốt mà không gây ra bất kỳ vấn đề nào. Với phương pháp này, bạn sẽ có một giải pháp hiệu quả, không có hạt bụi, không có khí độc hại, và các cảm biến cũng sẽ hoạt động ổn định. Nhờ đó, hiệu suất sản xuất của bạn sẽ được duy trì ở mức cao, và quan trọng hơn, các cảm biến sẽ không còn phát ra tiếng ồn nữa.