Tại sao chúng ta sử dụng công nghệ khử ẩm bằng tia hồng ngoại trong quy trình xử lý wafer?
Hãy cùng tìm hiểu về quá trình làm khô và khử ẩm. Trong ngành半导体, chúng ta đã từ bỏ phương pháp cũ – tức là việc sử dụng nhiên liệu đốt cháy mạnh hoặc các chất hóa học độc hại. Thay vào đó, chúng ta sử dụng công nghệ tia hồng ngoại. Đây là phương pháp sạch hơn nhiều. Bằng cách sử dụng năng lượng bức xạ trực tiếp, chúng ta có thể loại bỏ các quy trình sử dụng chì và các phương pháp gia nhiệt gây ô nhiễm môi trường. Đây là cách làm đơn giản hơn, thân thiện với môi trường hơn.
Cơ chế hoạt động của nhiệt lượng
Hãy tưởng tượng về lò nướng thông thường: nó phải làm nóng toàn bộ không khí bên trong trước khi thực phẩm được làm nóng. Điều này gây lãng phí thời gian và năng lượng.
Còn đèn tia hồng ngoại thì khác. Chúng truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt wafer. Không cần các thiết bị xử lý không khí phức tạp, cũng không cần chờ đợi. Chúng ta sử dụng tia hồng ngoại bước sóng ngắn và trung bình, vì chúng tác động chính xác vào các lớp phủ trên wafer, mà không làm hư hỏng bề mặt wafer. Điều này giúp tiết kiệm năng lượng.
Việc điều chỉnh khoảng cách giữa đèn và wafer rất quan trọng
Khoảng cách giữa đèn và wafer cần được điều chỉnh sao cho phù hợp. Nếu đặt đèn quá gần wafer, sẽ xuất hiện các vùng quá nóng, có thể làm hư hỏng mép wafer. Nhưng nếu đặt đèn quá xa, năng lượng sẽ bị lãng phí. Chúng ta cần dành nhiều thời gian để điều chỉnh khoảng cách này dựa trên công suất và bước sóng của đèn. Những chiếc đèn có công suất cao sẽ tạo ra nhiều nhiệt lượng, nhưng chúng ta cần đảm bảo hệ thống làm mát có thể xử lý được năng lượng này. Nếu không, đèn sẽ bị hư hỏng.
Những ưu điểm và nhược điểm của công nghệ này
Ưu điểm lớn nhất của công nghệ khử ẩm bằng tia hồng ngoại là đây là quy trình “khô”. Chúng ta không cần lo lắng về các chất độc hại hay việc xử lý khí thải chứa chì. Hệ thống lọc khí cũng trở nên đơn giản hơn nhiều. Tuy nhiên, có một nhược điểm: khi đèn bắt đầu hoạt động, sẽ có sự gia tăng đột ngột về công suất. Chúng ta cần có nguồn điện ổn định để tránh tình trạng giảm điện áp khi đèn hoạt động. Nhưng một khi đèn đã đạt đến nhiệt độ mong muốn, mọi thứ sẽ diễn ra nhanh hơn. Thời gian xử lý giảm xuống, và lượng năng lượng tiêu thụ cũng giảm. Đây quả là một phương pháp hiệu quả.