Сушіння пластин датчиків MEMS після хімічної обробки є складним процесом. Чому? Тому що це все одно, що гратися з вогнем. Коли в повітрі перебувають легкозаймисті чи вибухонебезпечні хімічні пари, звичайна інфрачервона лампа стає не просто інструментом, а джерелом небезпеки. Одна-єдина іскра чи нагріта точка на контактах може спричинити вибух. Це справжній кошмар, який не дає спокою керівникам заводів.
Уникнення іскор
Ми вирішили відмовитися від використання ламп, розташованих у відкритому просторі. Натомість ми помістили кварцову трубку всередину герметичного корпусу, стійкого до хімічних речовин. Це своєрідний „захисний кокон“, який повністю ізолює електричні контакти від навколишнього середовища. Це означає, що леткі органічні сполуки не можуть навіть наблизитися до підключених елементів.
Але є проблема: герметичні елементи можуть пошкодитися – вони можуть тріскатися, протікати чи втрачати свої властивості. Щоб уникнути цього, ми використовуємо фтореластомерні ущільнювачі, які можуть витримувати постійне нагрівання та охолодження без втрати своїх властивостей. Ми також враховуємо певні параметри тиску, адже якщо герметичність порушується, пари можуть потрапити всередину. А цього допустити не можна.
Баланс тепла
Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне світло. Воно швидко досягає поверхні пластини, тож вона проводить у „небезпечній зоні“ значно менше часу. Ми налаштовуємо потужність лампи так, щоб рідини швидко випаровувалися, але сама пластина не надто нагрівалась.
Але є ще одна проблема: оскільки лампа знаходиться в герметичному корпусі, тепло не випаровується в повітря, як це відбувається з відкритою лампою. Тепло залишається всередині. Це означає, що лампа нагрівається ще більше. Потрібно правильно налаштувати систему охолодження, інакше кварцовий корпус чи герметичні елементи можуть пошкодитися.
Підбір правильного рішення
Найкраще те, що ці пристрої можна використовувати як заміну для існуючих модулів сушіння. Оскільки джерело тепла ізольоване, не потрібно створювати величезні, громіздкі пристрої для захисту від вибухів. Розміри обладнання залишаються мінімальними, а на робочому місці панує порядок. Крім того, можна спокійно дихати, знаючи, що обладнання не вибухне.