На виробничій лінії таймер починає працювати в момент, коли пластинка виходить з процедури очищення. Залишкова волога є справжньою проблемою – швидко з’являються сліди вологи, а одна лише крапля води може зруйнувати всю лінію виробництва. Не можна використовувати нагрівачі, які постійно коригують значення температури. Потрібен нагрівач, який буде підтримувати постійну температуру на всій поверхні пластинки.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили промисловий нагрівач для сушіння пластинок на основі елементів короткохвильового інфрачервоного випромінювання та кварцово-галогенних ламп, разом із корпусами з вуглецевих волокон. Причина проста: швидка реакція та стабільна продуктивність. Рівномірність температури по всій поверхні пластинки становить ±0,1°C, тож параметри процесу сушіння залишаються в межах допустимих значень.
Сумісність з чистими приміщеннями класу 1–100 є частиною конструкції. Ми використовуємо матеріали з низьким рівнем викидів, систему циркуляції повітря, яка підтримує регулярну роботу фільтрів типу HEPA, а також уникання утворення частинок під час процесу нагрівання. Система працює 24/7, а дані про тривалість безперервної роботи підтверджують відсутність неспланованих зупинок під час звичайних змін. Повторюваність результатів забезпечується завдяки системі контролю температури типу PID.
Чому це ефективно на практиці
При сушінні пластинок важлива не лише сама процедура сушіння, а й можливість контролю процесу. Стабільна температура дозволяє зменшити кількість дефектів на поверхні пластинки, покращити контроль товщини ліній та підвищити продуктивність літографічного процесу. Швидке нагрівання скорочує час обробки, не порушуючи при цьому параметрів процесу. Стабільні значення температури дозволяють зменшити кількість бракованих продуктів та необхідність їх переробки.
Цілеспрямоване нагрівання за допомогою інфрачервоного випромінювання та низькі втрати енергії дозволяють економити енергію. Довгий термін служби ламп та модульна конструкція зменшують потребу у запасних частинах та часі на технічне обслуговування. У результаті досягається стабільна продуктивність обладнання та менше зупинок лінії.
Що вам потрібно знати
Ці нагрівачі підходять для використання в пристроях, які відповідають стандартам SEMI. Однак під час встановлення все одно необхідно перевірити правильність розташування та теплові з’єднання. Необхідно також провести короткий тестовий процес для налаштування параметрів PID відповідно до характеристик приміщення та потоку газу.
Пристрій може працювати в чистих приміщеннях з високою вологістю, але все одно необхідно регулярно перевіряти лампи та використовувати фільтрацію високої якості. Це дозволяє підтримувати стабільність роботи обладнання протягом понад 5,000 годин.