Як запобігти проблемам, пов’язаним із частинками, у чистих кімнатах класу 100
Якщо ви керуєте чистою кімнатою класу 100 для виробництва напівпровідників, ви вже знаєте, з якими проблемами доводиться стикатися. Найбільшою проблемою є вивільнення газів під час роботи обладнання.
Більшість стандартних нагрівальних елементів є причиною проблем у таких умовах. Як тільки вони досягають робочої температури, вони починають виділяти частинки чи леткі органічні сполуки. Одна маленька частинка чи невидимий клубок газу може зруйнувати всі ваши пластини. Це дуже прикро.
Ми вирішили цю проблему, використовуючи просту, але ефективну схему: кварцові інфрачервоні лампи разом із спеціалізованими дротами з матеріалу Тефлон (PTFE).
Чому це ефективно?
Для виготовлення корпусу лампи ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти. Причина проста: він не виділяє диму та не руйнується під впливом високих температур. Він просто залишається на своєму місці та виконує свою функцію, не реагуючи ні на що.
Що стосується дротів, то ми використовуємо лише дроти, покриті матеріалом PTFE. Чому? Тому що це єдиний матеріал, який не перетворюється на пил чи не виділяє газів під впливом високих температур. Якщо скористатися PVC чи силіконом, це призведе до активації всіх сигналізацій у чистій кімнаті. Крім того, це призведе до появи забруднень на поверхні пластин. Це не дуже добре.
Найскладніша частина – встановлення
Щоб нагрівання було ефективним, ми намагаємося розмістити все якомога ближче одне до одного. Але це створює проблему з накопиченням тепла.
Хоча PTFE добре витримує високі температури, все одно не можна просто прикріплювати дроти безпосередньо до кварцу – вони просто розплавляться. Потрібен невеликий проміжок повітря чи керамічний елемент, який дозволить дротам „дихати“.
Ми також уважно стежимо за потужністю нагрівача. Хочеться підвищити потужність, щоб прискорити процес нагрівання, але це ризиковано. Занадто велика потужність може пошкодити кварцові елементи.
Висновок
У кінцевому підсумку ви просто хочете, щоб система нагрівання працювала ефективно та не ускладнювала вашу роботу.
Завдяки цьому підходу ви отримуєте рішення, яке ідеально підходить для вашої справи. Немає жодних частинок, жодних дивних газів, жодних раптових збільшень кількості частинок. Ваша продуктивність залишається високою, а ще важливіше – датчики нарешті перестають функціонувати некоректно.