Чому ми відмовляємося від старих печей на користь інфрачервоного оброблення
Протягом довгого часу виробництво напівпровідників залежало від цих величезних конвективних печей. Але, чесно кажучи, це вже застарілі технології. Ми починаємо використовувати інфрачервоне оброблення – переважно тому, що воно дозволяє досягти необхідних умов для обробки матеріалів без використання шкідливих речовин.
Замість того, щоб нагрівати повітря, інфрачервоне випромінювання прямо потрапляє на поверхню пластини. Не потрібні жодні посередники.
Ефективне нагрівання потрібного місця
Уявіть, як працює конвективна піч: спочатку нагрівається повітря, а потім воно нагріває пластину. Це марна трата енергії.
Інфрачервоне випромінювання працює інакше – воно безпосередньо впливає на поверхню пластини. Фотони прямо потрапляють у шар фоторезисту чи розчинника та викликають реакцію. Найкраще те, що можна відмовитися від використання токсичних каталізаторів та стабілізаторів на основі свинцю.
Ми зазвичай використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання – воно має найбільшу потужність. Оскільки тепло потрапляє на пластину дуже швидко, їй не потрібно багато часу для нагрівання. Це означає менші витрати на електроенергію. Просто так.
Проблеми, пов’язані з технологією
Не можна просто замінити старий нагрівач на інфрачервону лампу – це не спрацює. Ці лампи виробляють величезну кількість тепла. Якщо корпус пристрою не призначений для цього, сенсори та електроніка можуть пошкодитися. Обов’язково потрібна ефективна система охолодження, щоб захистити решту компонентів.
Крім того, існує проблема надмірного нагрівання. Якщо конвеєр рухається занадто повільно, тонкі пластини можуть деформуватися. Потрібно правильно налаштувати потужність та швидкість руху конвеєра, щоб температурний профіль був оптимальним.
Екологічні переваги
Чудовою перевагою інфрачервоного оброблення є те, що воно не виділяє газів згоряння. Не є жодних викидів органічних речовин. Коли час сушіння скорочується з хвилин до секунд, рівень вуглецевого сліду зменшується. Це чудовий спосіб замінити старі, неефективні технології, які споживають багато енергії та перетворюють чисту кімнату на сауну.