Proses pengeringan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan menggunakan bahan kimia merupakan proses yang sangat berisiko. Mengapa? Kerana ia sama seperti bermain dengan api. Apabila terdapat wap kimia yang mudah terbakar atau meletup di udara, lampu inframerah biasa bukan sahaja tidak berguna, malah boleh menjadi sumber bahaya. Sebarang percikan api atau titik panas pada permukaan komponen tersebut boleh menyebabkan kebakaran. Ini merupakan situasi yang menakutkan yang membuat para pengurus kilang gelisah sepanjang masa.
Mengelakkan percikan api
Kami memutuskan untuk tidak lagi menggunakan lampu yang diletakkan di luar. Sebaliknya, kami meletakkan tiub kuarza tersebut di dalam sarung yang tahan bahan kimia. Ia berfungsi sebagai pelindung yang mengasingkan sentuhan elektrik daripada udara di sekelilingnya. Dengan cara ini, bahan organik volatil (VOCs) tidak dapat mendekati pin-pin yang aktif. Biasanya, penutup tersebut akan rosak akibat tekanan atau suhu yang tinggi. Untuk mengatasi masalah ini, kami menggunakan gasket fluor elastomer yang tahan suhu tinggi. Gasket ini mampu bertahan walaupun berada dalam keadaan suhu yang ekstrem. Kami juga memastikan gasket tersebut sesuai untuk tekanan tertentu, kerana jika penutup tersebut rosak, wap kimia akan masuk ke dalam. Dan itu tentunya tidak boleh diterima.
Keseimbangan haba
Kami menggunakan lampu inframerah gelombang pendek. Cahaya ini sampai ke permukaan wafer dengan cepat, jadi wafer tidak perlu berada dalam “zon berbahaya” untuk waktu yang lama. Kami menyesuaikan kuasa lampu agar cecair dapat menguap dengan cepat, tanpa menyebabkan wafer menjadi terlalu panas. Namun, ada satu masalah: kerana lampu tersebut disegel, haba tidak dapat tersebar ke udara seperti lampu biasa. Haba akan terperangkap di dalamnya. Ini bermakna lampu tersebut akan menjadi lebih panas. Oleh itu, kita perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik, agar kuarza dan penutupnya tidak rosak akibat haba yang berlebihan.
Penyesuaian yang tepat
Yang terbaik ialah peranti ini direka untuk menggantikan modul pengeringan yang sedia ada. Kerana sumber haba telah diasingkan, kita tidak perlu membina kotak yang besar dan rumit untuk melindungi mesin tersebut. Ruang kerja akan tetap luas, dan kita juga dapat bernafas lega kerana peralatan tersebut tidak akan meletup.