Menghentikan masalah zarah berbahaya di bilik bersih kelas 100
Jika anda menguruskan bilik bersih kelas 100 untuk kilang semikonduktor, anda pasti sudah tahu betapa sukarnya tugas ini. Masalah utama yang perlu dihadapi ialah pengeluaran gas berbahaya akibat haba yang dihasilkan oleh bahan pemanas biasa.
Kebanyakan bahan pemanas biasa tidak sesuai digunakan dalam persekitaran seperti ini. Sebaik sahaja bahan tersebut mencapai suhu operasi, ia akan mula mengeluarkan zarah-zarah atau gas organik volatil (VOCs). Walaupun hanya sedikit zarah atau gas yang terhasil, ia sudah cukup untuk merosakkan wafer yang digunakan. Ini sangat menjengkelkan.
Kami menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan kombinasi yang sederhana namun berkualiti tinggi: lampu inframerah daripada kuarsa yang dicampurkan dengan wayar yang diperbuat daripada bahan PTFE.
Mengapa cara ini berkesan
Kami menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi untuk pembungkus lampu tersebut. Alasannya mudah: kuarsa ini tidak akan menghasilkan asap atau rosak apabila dipanaskan. Ia akan tetap berfungsi dengan baik tanpa bereaksi terhadap apa-apa pun.
Selain itu, kami juga menggunakan wayar yang dilapisi PTFE. Mengapa? Kerana itulah satu-satunya bahan yang tidak akan hancur menjadi debu atau mengeluarkan gas apabila dipanaskan. Jika anda menggunakan bahan PVC atau silikon, ia akan menyebabkan pelbagai masalah dalam bilik bersih tersebut. Selain itu, bahan-bahan ini akan meninggalkan kotoran pada permukaan wafer. Ini tentu bukanlah situasi yang baik.
Bahagian yang rumit: Proses pemasangan
Untuk memastikan sistem pemanasan berfungsi dengan efisien, kami memastikan semua komponen dipasang dengan rapat. Kami ingin agar sumber haba berada sejauh mungkin dari objek yang perlu dipanaskan. Namun, ini akan menyebabkan masalah “penyerapan haba” yang berlebihan.
Walaupun PTFE tahan terhadap haba, anda tidak boleh meletakkan wayar secara langsung pada permukaan kuarsa. Ini akan menyebabkan wayar tersebut cair. Anda perlu meninggalkan jarak kecil antara wayar dan permukaan kuarsa agar wayar tersebut dapat berfungsi dengan baik.
Kami juga memperhatikan tahap kuasa yang digunakan dengan teliti. Memang mudah untuk meningkatkan kuasa agar proses pemanasan berlaku lebih cepat, tetapi ini merupakan risiko yang besar. Kuasa yang berlebihan akan memberi tekanan yang berlebihan pada lapisan pelindung kuarsa.
Kesimpulan
Pada akhirnya, apa yang anda inginkan ialah sistem pemanasan yang berfungsi dengan baik tanpa menyusahkan anda. Dengan pendekatan ini, anda akan mendapat penyelesaian yang sempurna. Tiada zarah berbahaya, tiada gas berbahaya, dan tiada lonjakan zarah secara tiba-tiba. Hasil pengeluaran akan tetap tinggi, dan yang paling penting, sensor-sensor anda akan berfungsi dengan stabil.