Di bilik pengeringan wafer, jam akan mula berfungsi sebaik sahaja wafer keluar dari bekas pembersihan. Kelembapan yang tinggal merupakan masalah besar – kesan kelembapan akan muncul dengan cepat, dan satu titik air saja sudah cukup untuk merosakkan seluruh proses pengeluaran. Anda tidak boleh menggunakan pemanas yang hanya dapat mengekalkan suhu pada tahap tertentu sahaja. Anda memerlukan pemanas yang mampu mengekalkan suhu yang sama di seluruh permukaan wafer, setiap kali.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami membina pemanas pengeringan wafer industri menggunakan elemen inframerah jarak dekat (NIR) serta lampu kuarsa-halogen, bersama-sama dengan badan pemanas yang diperbuat daripada serat karbon. Sebabnya mudah: tindak balas yang cepat dan output yang stabil. Kestabilan suhu di seluruh permukaan wafer mencapai ±0.1°C, sehingga proses pembakaran lembut dan keras dapat dilakukan dengan tepat mengikut spesifikasi yang ditetapkan.
Sistem ini direka agar sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Kami menggunakan bahan yang menghasilkan gas yang sedikit, aliran udara yang sesuai dengan sistem HEPA, dan tiada penghasilan zarah semasa proses pemanasan. Sistem ini beroperasi 24/7, dan data MTBF menunjukkan tiada masa henti yang tidak dirancang semasa waktu kerja biasa. Ketepatan proses dicapai melalui sistem kawalan termometer berputar dan kawalan PID yang memastikan suhu tetap stabil.
Mengapa cara ini berkesan dalam praktik
Dalam proses pengeringan wafer, tujuannya bukan sekadar mengeringkan wafer, tetapi juga untuk memastikan kawalan proses yang tepat. Kestabilan suhu yang tinggi dapat mengurangkan kecacatan pada lapisan fotoresist, serta meningkatkan kualiti hasil litografi. Proses pemanasan yang cepat memendekkan masa yang diperlukan untuk proses pengeringan, tanpa merosakkan kualiti wafer. Suhu yang stabil pula membantu mengurangkan jumlah bahan buangan dan kerja-kerja pembaikan.
Pemanasan menggunakan cahaya NIR yang tepat serta penggunaan tenaga yang rendah membantu mengurangkan penggunaan tenaga. Jangka hayat lampu yang panjang serta reka bentuk modul yang digunakan memudahkan penyimpanan alat ganti dan mengurangkan masa pembaikan. Hasilnya, prestasi sistem tetap konsisten, peralatan sentiasa tersedia, dan masalah gangguan operasi menjadi lebih sedikit.
Apa yang perlu anda ketahui
Pemanas ini boleh digunakan dalam platform yang mematuhi standard SEMI, namun anda masih perlu memastikan penyesuaian yang betul pada antaramuka haba semasa pemasangan. Lakukan ujian singkat untuk menyesuaikan nilai PID mengikut jenis bilik dan aliran gas yang digunakan.
Operasi dalam bilik bersih yang mempunyai kelembapan tinggi juga boleh dilakukan, namun anda masih perlu memeriksa lampu secara berkala dan menggunakan sistem penapisan berkualiti tinggi. Dengan cara ini, jumlah zarah yang terhasil dapat dikawal, dan prestasi sistem tetap stabil walaupun setelah 5,000 jam operasi.