Di bilik pengeluaran yang bersih ini, pemanas sensor hidrogen tidak boleh mengalami sebarang penyimpangan suhu. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pembakaran akan merosakkan kawalan dimensi yang tepat, dan akibatnya proses pengeluaran akan terhenti. Kami menciptakan pemanas ini agar dapat beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100, hari demi hari, tanpa gangguan yang tidak dijangka.
Apa yang penting di belakang tabir
Pemanas ini menggunakan elemen kuarsa inframerah gelombang pendek untuk memindahkan haba dengan cepat dan efisien. Ia memastikan suhu pada wafer kekal stabil pada tahap ±0.1°C. Nilai suhu yang ditetapkan tetap konsisten walaupun selepas ribuan kitaran pembakaran. Ini membolehkan proses pembakaran berjalan secara konsisten dari masa ke masa. Badan pemanas serta komponen penutupnya direka untuk mengelakkan penghasilan zarah, sekali gus memastikan jumlah zarah tetap terkawal semasa proses litografi. Pemanas ini juga beroperasi secara berterusan pada beban penuh, tanpa memerlukan penyelenggaraan.
Mengapa ia sesuai untuk pengeluaran
Sensor hidrogen memerlukan proses penempatan lapisan tipis yang stabil serta pemprosesan fotoresist yang konsisten. Pemanas ini memastikan suhu tetap stabil sepanjang 7×24 jam operasi. Dengan ini, lebar jalur pengeluaran tetap konsisten, mengurangkan keperluan untuk memulihkan produk yang rosak, dan meningkatkan kadar pengeluaran yang boleh dipercayai. Penggunaan tenaga dikawal dengan baik, dan jangka hayat pemanas yang panjang membantu mengurangkan keperluan stok ganti dan masa henti operasi. Hasilnya, proses pengeluaran dapat dikawal dengan baik dari masa ke masa.
Beberapa nota penting
Anda memerlukan sumber kuasa yang stabil, dengan voltan yang konsisten dan sistem penggrounding yang baik. Jika kedua-duanya tidak stabil, suhu akan menjadi tidak konsisten. Pemanas ini boleh digunakan bersama dengan peralatan FOUP biasa dan antaramuka pengeluaran yang biasa digunakan. Namun, jika anda ingin menggunakannya bersama dengan ketuhar lama, pastikan ia diperiksa terlebih dahulu. Lakukan ujian selama satu hari untuk memastikan suhu tetap konsisten pada setiap wafer yang digunakan, serta memastikan profil pembakaran sesuai dengan spesifikasi peranti yang digunakan.