化学的な洗浄後にMEMSセンサーワークを乾燥させるのは、非常に危険な作業です。なぜでしょうか？それは、まるで火遊びをしているようなものだからです。空気中に可燃性や爆発性のある化学物質の蒸気が漂っている状態では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険要因となります。わずかな火花や、端子の一部が過熱するだけで、火災が発生してしまいます。これは、工場の管理者たちを夜も眠れない状態にする恐ろしい状況です。
火花の防止 私たちは、屋外でのランプ使用をやめることにしました。代わりに、石英管を密閉された、化学物質に耐性のあるケースの中に収めました。これは、電気的な接点を周囲の空気から完全に隔離する役割を果たします。つまり、不安定な有機化合物が電源が供給されている部分に近づくことができないのです。ただし、密封部が壊れてしまうことがあります。そうならないように、高温度に耐えられるフッ素エラストマーガスケットを使用しています。また、特定の圧力差に対応できるように設計されており、もし密封が破れてしまうと、蒸気が内部に入ってしまいます。それは絶対に避けなければなりません。
熱のバランス 私たちは短波長の赤外線を使用しています。これにより、ワーク表面に素早く熱が当たり、ワークが「危険な領域」に留まる時間が大幅に短縮されます。また、液体が迅速に蒸発するようにワット数を調整していますが、基板上の部品が過熱しないようにも配慮しています。しかし、問題点もあります。ランプが密閉されているため、熱は空気中に逃げていきません。その結果、ランプの温度が上昇します。冷却システムや空気の流れを正確に調整しなければ、石英管や密封部が壊れてしまいます。
適合性 最良な点は、これらが既存の乾燥装置の交換用として設計されていることです。熱源が隔離されているため、巨大で重々しい防爆箱を機械全体に取り付ける必要がありません。その結果、スペースを節約でき、工場内も清潔に保たれます。また、装置が爆発しないという安心感も得られます。