クラス100のクリーンルームにおける粒子問題の解決策
もし半導体製造工場でクラス100のクリーンルームを管理しているなら、その苦労はよく知っているはずです。最も厄介なのは、発ガスの問題です。
一般的な発熱体は、このような環境では使えません。作動温度に達するとすぐに粒子が放出されたり、揮発性有機化合物（VOCs）が漏れ出したりします。わずかな粒子や目に見えないガスでも、ウェーハは台無しになってしまいます。本当にイライラします。
私たちは、高純度のクォーツ製の赤外線ランプと、特殊なテフロン製の配線を組み合わせることで、この問題を解決しました。
なぜこれが効果的か
ランプのケースとして高純度の合成クォーツを使用しています。その理由は簡単です。高温になっても「煙を出したり」壊れたりしないからです。何も反応せず、安定して機能し続けます。
次に配線についてです。ここではPTFEコーティングされた配線のみを使用します。なぜかというと、高温になっても粉々になったりガスを放出したりしない唯一の素材だからです。PVCやシリコンを使ったら、建物内のすべての警報が鳴ってしまいます。さらに、基板全体に汚染物質が付着してしまいます。良くありません。
設置時の注意点
効率的に加熱するためには、すべてを狭いスペースに収める必要があります。熱源をターゲットにできるだけ近づけたいのです。
しかし、そうすると「熱の影響」が問題になります。PTFEは耐熱性に優れていますが、配線を直接クォーツに触れさせることはできません。そうすると配線が溶けてしまいます。そのため、配線とクォーツの間には少し隙間を作る必要があります。
また、出力も慎重に調整する必要があります。早く目的の温度に到達させたいと思うかもしれませんが、それは危険です。過度な出力はクォーツの密封部分に大きな負担を与えてしまいます。
まとめ
結局のところ、日常生活を困難にしない、効率的な加熱システムが求められます。この方法を用いれば、粒子の発生や異常なガスの発生がなく、歩留まりも向上します。何よりも、センサーの異常な動きもなくなります。