MEMSセンサーウェーハ乾燥ヒーター

化学的な洗浄後にMEMSセンサーワークを乾燥させるのは、非常に危険な作業です。なぜでしょうか？それは、まるで火遊びをしているようなものだからです。空気中に可燃性や爆発性のある化学物質の蒸気が漂っている状態では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険要因となります。わずかな火花や、端子の...