半导体洁净室推车式加热器

防止碎片飞溅：保护晶圆免受灯管故障的损害 在高产量的半导体生产线上，如果红外灯管突然损坏，那可真是麻烦大了。问题不仅仅在于需要更换灯管，更在于由此造成的混乱状况。 当石英管在晶圆传送过程中破裂时，玻璃碎片和金属氧化物颗粒会掉落在晶圆上，导致晶圆直接报废。我们花了大量时间来寻找方法，确保这种事情不会...