Hãy ngừng chờ đợi chiếc lò nướng của bạn đi: Một cách tốt hơn để làm nóng các tấm wafer
Hãy thừa nhận rằng phương pháp sử dụng luồng khí nóng để làm nóng vật thể là một phương pháp lỗi thời. Về cơ bản, bạn chỉ đang làm nóng một khối không khí lớn, hy vọng rằng hơi nóng sẽ lan tỏa đến các tấm wafer.
Vấn đề là việc này mất rất nhiều thời gian. Bạn phải dành quá nhiều thời gian chờ đợi cho đến khi không khí đạt đúng nhiệt độ cần thiết, thay vì tập trung vào việc xử lý các tấm wafer. Đây thực sự là một rào cản lớn.
Giải pháp: Chúng tôi quyết định bỏ qua phương pháp sử dụng luồng khí nóng và chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại không tạo ra ozone. Thay vì làm nóng một khối không khí, đèn hồng ngoại sử dụng bức xạ điện từ để làm nóng trực tiếp vào bề mặt vật thể. Không cần giai đoạn “làm nóng trước”, bạn chỉ cần bật đèn lên, và nó sẽ ngay lập tức tạo ra nhiệt độ cần thiết.
Khi bạn không còn cần phải làm nóng toàn bộ khối không khí nữa, thời gian xử lý sẽ giảm đáng kể. Ngoài ra, diện tích sử dụng cũng được giảm bớt. Bạn không cần đến những buồng cách nhiệt lớn nữa, vì bạn không cần giữ lại hơi nóng trong buồng nữa.
Vấn đề về ozone: Đây là điểm khó khăn: đèn hồng ngoại thông thường thường tạo ra ozone do bức xạ UV. Nếu bạn làm việc trong phòng sạch, ozone sẽ gây hại nghiêm trọng đến các vật liệu nhạy cảm và làm hỏng lớp phủ bảo vệ trên các tấm wafer.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các chất liệu thạch anh đặc biệt và các bộ lọc để ngăn chặn bức xạ UV dưới 200nm. Bạn vẫn có thể nhận được nhiệt độ cao, nhưng không còn phải lo lắng về các tác động hóa học tiêu cực nữa. Chúng tôi cũng điều chỉnh các đèn này sao cho nhiệt độ được phân bổ đều trên bề mặt tấm wafer, để tránh tình trạng mép tấm wafer bị biến dạng.
Thực tế: Đèn hồng ngoại không phải là phép màu. Nó vẫn có những hạn chế riêng. Điều quan trọng nhất cần nhớ là đèn hồng ngoại có tính chất hướng tâm; hơi nóng sẽ lan tỏa xung quanh vật thể, nhưng đèn hồng ngoại chỉ làm nóng những vùng mà nó có thể “nhìn thấy”. Nếu vật thể có những chỗ lõm hoặc hình dạng phức tạp, bạn sẽ gặp phải những vùng lạnh.
Để khắc phục điều này, bạn có thể sử dụng nhiều đèn khác nhau hoặc sử dụng các tấm phản quang để lan tỏa nhiệt vào những vùng khó tiếp cận.
Lưu ý: Vì năng lượng từ đèn hồng ngoại rất mạnh và nhanh, bạn cần chú ý đến việc điều chỉnh nhiệt độ một cẩn thận. Nếu bạn không điều chỉnh chính xác, nhiệt độ có thể vượt quá mức mong muốn, gây hư hại cho vật liệu được xử lý.