Trên dây chuyền sản xuất có độ phân giải 300mm, chỉ cần sự lệch lạc 0,5 độ trong quá trình nung phim quang học thôi cũng đủ khiến sản phẩm tốt biến thành rác thải. Việc nới lỏng các tiêu chuẩn kiểm soát của máy quét thôi thì chẳng thể giải quyết được vấn đề này. Bước nung phim cũng cần được kiểm soát chặt chẽ.
Chúng tôi đã chế tạo một bộ đèn hồng ngoại kèm theo lưỡi dao khí để khắc phục hai nguyên nhân gây ra sai số: sự biến đổi nhiệt độ và sự ô nhiễm. Cả hai yếu tố này đều làm giảm độ chính xác của quá trình sản xuất, ngay cả trước khi chúng ta có thể nhận biết được chúng qua các biểu đồ hiển thị.
Những yếu tố quan trọng ở bên trong Bộ thiết bị này kết hợp giữa bộ phát hồng ngoại tia ngắn với lưỡi dao khí nằm ngay bên cạnh nó. Đèn có khả năng làm nóng nhanh và chính xác, với kiểm soát tần số ánh sáng chặt chẽ. Điều này giúp kiểm soát được sự biến đổi nhiệt độ và các yếu tố gây ảnh hưởng khác.
Độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C. Chúng tôi kiểm tra điều này bằng cách sử dụng công nghệ quét trực tiếp, chứ không phải dựa vào dữ liệu từ một cảm biến duy nhất. Lưỡi dao khí tạo ra dòng khí tĩnh để loại bỏ các hạt bụi và hơi ẩm trên bề mặt wafer, sau đó đưa chúng ra khỏi buồng xử lý. Số lượng hạt bụi được giữ ở mức dưới mức cho phép trong môi trường sạch cấp độ 1–100.
Kết quả là quá trình nung phim diễn ra ổn định, độ chính xác của các thông số kỹ thuật được duy trì tốt, và số lần phải làm lại giảm đi.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong công nghệ in ấn Quá trình xử lý phim quang học rất nhạy cảm với nhiệt độ và các yếu tố gây ô nhiễm trong không khí. Bộ thiết bị này có khả năng đạt nhiệt độ mong muốn nhanh chóng, do đó thời gian chờ giảm đi, và quá trình nung phim diễn ra ổn định từ lần này sang lần khác.
Tất cả các vật liệu sử dụng đều phù hợp với môi trường sạch, và đường dẫn khí được đóng kín, nhờ đó không có sự thoát khí hay bụi ra ngoài. Mức tiêu thụ năng lượng thấp hơn so với các lò nung thông thường, vì năng lượng được sử dụng trực tiếp để làm nóng phim, chứ không phải để làm nóng thành lò.
Độ tin cậy của bộ thiết bị này được đảm bảo nhờ thời gian hoạt động dài hạn – lên đến 5.000 giờ với tỷ lệ suy giảm hiệu suất dưới 5%. Điều này giúp bộ thiết bị hoạt động liên tục 24/7 mà không bị gián đoạn.
Những chi tiết quan trọng cần lưu ý Việc lắp đặt bộ thiết bị này đòi hỏi phải có hệ thống thông gió riêng, và cần kiểm tra chất lượng khí cung cấp. Nếu việc lọc khí không đủ tốt, các hạt bụi vẫn sẽ xuất hiện trở lại.
Đèn hoạt động tốt nhất khi có đường nhìn thẳng vào wafer. Vì vậy, cần chú ý đến cấu trúc xung quanh buồng xử lý.
Cần điều chỉnh áp suất của lưỡi dao khí sao cho phù hợp với yêu cầu của quy trình. Áp suất quá cao sẽ gây ảnh hưởng đến phim quang học; áp suất quá thấp thì không thể loại bỏ được các hạt bụi. Ngoài ra, cần điều chỉnh bước sóng ánh sáng phát ra sao cho phù hợp với đặc tính hấp thụ của phim quang học – đó mới là cách để đạt được độ đồng đều tối ưu.