Bảo vệ an toàn bằng các bóng đèn hồng ngoại phủ vàng trong quá trình làm sạch hóa chất
Nếu bạn làm việc trong nhà máy sản xuất chất bán dẫn, bạn chắc hẳn hiểu rõ tình hình. Các giai đoạn làm sạch bằng hóa chất chứa đầy những chất lỏng dễ cháy nổ. Việc sử dụng bóng đèn hồng ngoại thông thường trong môi trường này chẳng khác nào tự gây ra hỏa hoạn.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các bóng đèn được phủ lớp vàng trên vỏ thủy tinh. Lớp vàng này giúp thay đổi quang phổ phát xạ của bóng đèn, khiến bóng đèn trở nên phản chiếu ánh sáng tốt hơn. Thay vì để nhiệt lượng lan ra bên ngoài, lớp vàng giúp chuyển hướng năng lượng hồng ngoại trực tiếp vào wafer. Nhờ vậy, mật độ nhiệt tại vị trí cần thiết sẽ cao hơn nhiều.
Thủy tinh rất tốt trong việc chịu đựng các tác động nhiệt độ cao. Nhưng khi phải đối mặt với các hóa chất mạnh, thì việc chỉ sử dụng thủy tinh thôi là chưa đủ.
Bảo vệ bóng đèn trong môi trường nguy hiểm
Để ngăn không cho các hơi chất dễ cháy tiếp xúc với phần dây tóc nóng bên trong bóng đèn, chúng ta phải đặt bóng đèn vào vỏ bảo vệ chuyên dụng. Chúng ta sử dụng các miếng đệm chất lượng cao để đảm bảo không có gì có thể xâm nhập vào bên trong.
Lưu ý rằng bạn không thể thay thế bóng đèn bị hỏng ngay trong môi trường thông thường. Bạn cần làm sạch hệ thống trước. Chúng tôi thiết kế vỏ bảo vệ sao cho không có “điểm nóng” nào xuất hiện, vì đó chính là nơi mà các hơi chất dễ cháy tụ lại và gây cháy nổ.
Những hạn chế
Nếu nhiệt độ không được kiểm soát tốt, wafer sẽ bị lỗi. Lớp vàng giúp ổn định nhiệt độ, nhưng nó cũng khiến quy trình sản xuất trở nên phức tạp hơn một chút.
Những bóng đèn này cũng khá nhạy cảm; chúng không thích bị va đập. Nếu lớp vàng bị xước hoặc thủy tinh bị nứt, khả năng bảo vệ của bóng đèn sẽ bị mất.
Một vài mẹo để giữ cho bóng đèn hoạt động tốt:
Hãy đảm bảo rằng các braket cố định bóng đèn không làm tổn thương hai đầu ống. Mọi lực mekanical đều gây hại. Đồng thời, đừng tăng công suất ngay lập tức. Hãy tăng dần công suất để bảo vệ lớp vàng trong vài chu kỳ đầu tiên.