اپنے اوون کا انتظار کرنا بند کریں: ویفروں کو گرم کرنے کا بہتر طریقہ
آئیے، فورسڈ ایر کنوکشن کے بارے میں سچ بات کرتے ہیں۔ یہ تو پرانا طریقہ ہے۔ دراصل، آپ ایک بڑے حجم کی ہوا کو گرم کرتے ہیں، اور امید کرتے ہیں کہ یہ حرارت بالآخر ویفروں تک پہنچ جائے گی۔
مسئلہ یہ ہے کہ اس عمل میں بہت وقت لگتا ہے۔ آپ کو ٹائمر کے سامنے بیٹھ کر انتظار کرنا پڑتا ہے، جبکہ حقیقت میں ویفروں کو پروسس کرنے میں بہت کم وقت صرف ہوتا ہے۔ یہ تو ایک بہت بڑی رکاوٹ ہے۔
انتظار کو ختم کرنے کا طریقہ
ہم نے فیصلہ کیا کہ ہوا کے ساتھ کھیلنا بند کرکے براہِ راست حل تلاش کیا جائے۔ یہی وہ جگہ ہے جہاں آزون-فری انفراریڈ (IR) لیمپ استعمال ہوتے ہیں۔
انفراریڈ لیمپ، کسی ماحول کو گرم کرنے کے بجائے الیکٹرومیگنیٹک تابکاری کا استعمال کرتے ہیں۔ یہ تابکاری براہِ راست ہدف پر پڑتی ہے۔ کوئی “وارم-اپ” کا مرحلہ نہیں، کوئی بیکار وقت بھی نہیں۔ آپ صرف لیمپ کو چالو کرتے ہیں، اور یہ فوراً گرم ہو جاتا ہے۔فوری طور پر۔
جب آپ پورے فضا کو گرم کرنے کی کوشش کرنا بند کرکے صرف ویفروں کی سطح پر توجہ دیتے ہیں، تو آپ کا وقت کافی کم ہو جاتا ہے۔ اس کے علاوہ، آپ کے پاس زیادہ جگہ بھی باقی رہ جاتی ہے۔ اب آپ کو ان بڑے، بھاری انسولیٹڈ چیمبروں کی ضرورت نہیں رہتی، کیونکہ آپ کو گرم ہوا کو قید کرنے کی ضرورت ہی نہیں ہے۔
آزون کا مسئلہ (اور اس کا حل)
یہاں ایک مشکل مسئلہ ہے: عام شارٹ-ویو انفراریڈ لیمپ، UV تابکاری کی وجہ سے آزون (O3) پیدا کرتے ہیں۔ اگر آپ کلین روم میں کام کرتے ہیں، تو آزون ایک بہت بڑی مشکل ہے۔ یہ نازک سطحوں کو نقصان پہنچاتا ہے، اور فوٹوریزسٹ کو بھی تباہ کر دیتا ہے۔
ہم نے اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے خاص کوارٹز مرکبات اور اندرونی فلٹرز کا استعمال کیا، جو 200 نینومیٹر سے کم طولِ موج والی UV تابکاری کو روکتے ہیں۔ اس طرح، آپ کو اب بھی اتنی ہی شدید حرارت ملتی ہے، لیکن کوئی منفی کیمیائی اثرات نہیں ہوتے۔ ہم نے ان لیمپوں کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ حرارت ویفروں کی سطح پر یکساں طور پر پھیلے، تاکہ آپ کو کناروں کے بگڑنے کی فکر نہ کرنی پڑے۔
حقیقت کی جانچ
اب، انفراریڈ لیمپ کوئی جادو نہیں ہیں۔ ان میں بھی کچھ خامیاں ہیں۔
سب سے اہم بات یہ ہے کہ انفراریڈ لیمپ سمتی ہوتے ہیں۔ گرم ہوا کسی چیز کے ارد گرد گھومتی ہے، لیکن انفراریڈ لیمپ صرف اسی چیز کو گرم کرتے ہیں جسے وہ “دیکھ سکتے ہیں”。 اگر آپ کے پاس کوئی گہرے گڑھے یا عجیب 3D شکل والی چیز ہے، تو وہاں سرد جگہیں بن جاتی ہیں۔
اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے، آپ کو مختلف لیمپوں کا استعمال کرنا پڑے گا، یا ریفلیکٹرز کا استعمال کرکے حرارت کو ان گہرے گڑھوں تک پہنچانا پڑے گا۔
اور ایک بات یاد رکھیں: چونکہ انفراریڈ لیمپ سے حرارت بہت تیزی سے پیدا ہوتی ہے، لہذا آپ کو PID کنٹرولرز کے استعمال میں بہت احتیاط کرنی پڑے گی۔ اگر آپ کیلیبریشن درست نہیں ہے، تو آپ کا ٹارگٹ درجہ حرارت سے زیادہ ہو سکتا ہے، اور آپ کا سبسٹریٹ جل سکتا ہے۔