300 ملی میٹر لائن پر، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران آدھے ڈگری کا اختلاف بھی اسے بیکار کرنے کے لئے کافی ہے۔ صرف اسکینر کی درستگی کو بہتر بنانے سے یہ مسئلہ حل نہیں ہوگا؛ گرم کرنے کے عمل کو خود ہی مناسب طریقے سے انجام دینا ضروری ہے۔
ہم نے انفراریڈ لیمپ بنایا ہے، جس میں ایئر نائف بھی شامل ہے؛ تاکہ حرارتی اختلافات اور آلودگی جیسے مسائل سے نمٹا جاسکے۔ یہ دونوں عوامل، اوورلے پلوٹ میں دکھائی دینے سے پہلے ہی پروسیس کی درستگی کو متأثر کرتے ہیں۔
داخلی سطح پر کیا اہم ہے؟
اس یونٹ میں شارٹ-وریو انفراریڈ ایمیٹر اور ایئر نائف دونوں شامل ہیں۔ لیمپ تیزی سے گرم ہوتا ہے، اور اس کا روشنی کا راستہ بالکل واضح ہے؛ اس طرح حرارتی اختلافات کو کنٹرول کیا جاتا ہے۔
ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جاتا ہے، اور اس کی جانچ ان-سیٹو میپنگ کے ذریعے کی جاتی ہے، نہ کہ صرف ایک سینسر کے ذریعے۔ ایئر نائف، سطح سے ذرات اور نمی کو ہٹانے میں مدد کرتا ہے، اور پھر انہیں چیمبر سے باہر نکال دیتا ہے۔ ذرات کی تعداد کو کلین روم کلاس 1–100 کے اندر رکھا جاتا ہے۔
اس کا نتیجہ یہ ہے کہ نرم اور سخت گرم کرنے کے عمل میں درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے، کریٹیکل ڈائمینشن کنٹرول بہتر رہتا ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔
لیتھوگرافی میں یہ کیوں کارگر ہے؟
فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ بہت حساس ہے؛ یہ درجہ حرارت اور ہوا میں موجود نقائص سے متأثر ہوتی ہے۔ یہ یونٹ جلدی ہی درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اس لئے بےکار وقت کم ہو جاتا ہے، اور گرم کرنے کا عمل ہر بار یکساں رہتا ہے۔
تمام مواد کلین روم کے معیارات کے مطابق ہیں، اور ہوا کا راستہ بھی بند ہے؛ اس لئے کوئی گیس باہر نہیں نکلتی۔ اس کی توانائی کی کھپت، کنویکشن اوونوں کے مقابلے میں کم ہے، کیوں کہ توانائی سیدھے فلم میں جاتی ہے، نہ کہ چیمبر کی دیواروں میں۔
قابل اعتمادی کا مطلب یہ ہے کہ یہ یونٹ 5,000 گھنٹے سے زیادہ کام کر سکتا ہے، اور اس کی کارکردگی میں 5% سے کم کمی ہوتی ہے؛ اس طرح 24/7 کام جاری رہتا ہے، بغیر کسی رکاوٹ کے۔
وہ عملی تفصیلات جنہیں نظر انداز نہیں کیا جاسکتا
انسٹالیشن کے لئے الگ سے ایک ایگزاسٹ سسٹم کی ضرورت ہے، اور ہوا کی کوالٹی کی بھی جانچ ضروری ہے۔ اگر فلٹریشن مناسب نہ ہو، تو پھر پھر سے ذرات پیدا ہو جائیں گے۔
لیمپ کی کارکردگی اس وقت بہترین ہوتی ہے، جب ویفر تک روشنی کا راستہ بالکل واضح ہو؛ اس لئے پروسیس چیمبر کے ارد گرد کی ساخت پر توجہ دینا ضروری ہے۔
ایئر نائف کے دباؤ کو پروسیس کے مطابق رکھنا ضروری ہے؛ بہت زیادہ دباؤ سے ریزسٹ متأثر ہو سکتا ہے، جبکہ بہت کم دباؤ سے ذرات ہٹ نہیں پاتے۔ اور ایمیٹر کے سپیکٹرم کو فوٹوریزسٹ کے جذب کرنے کے پروفائل کے مطابق رکھنا ضروری ہے؛ اس طرح ہی درستگی حاصل ہوتی ہے۔