Kimyasal temizleme işlemlerinde altın kaplı kızılötesi lambalarla güvenliği sağlama
Eğer yarı iletken üretim tesislerinde çalışıyorsanız, bu sürecin ne kadar zor olduğunu biliyorsunuzdur. Kimyasal temizleme aşamalarında kullanılan çözücüler oldukça tehlikeli ve yanıcı maddelerdir. Standart bir kızılötesi lambayı bu ortama sokmak, adeta yangına davetiye çıkarmak demektir.
İşte bu yüzden altın kaplı kuvars lambalar kullanıyoruz. Lambaları özel bir kabukla kaplayarak, ateşlenmeyi önleyip ısının tam da gereken yerde kalmasını sağlıyoruz.
Neden altın ve kuvars?
İşin sırrı şu: Kuvars kabuğun üzerine ince bir altın tabakası uygulanır. Bu sayede ışınım spektrumu değişir; başka bir deyişle lamba daha fazla ışık yansıtır hale gelir. Böylece ısı, lambanın iç kısmına geri akamaz ve doğrudan wafer üzerine yönlendirilir. Böylece ihtiyaç duyulan yerde çok daha yoğun bir ısı elde edilir.
Kuvars, termal şoklara karşı oldukça dayanıklıdır. Ancak tehlikeli kimyasallarla uğraşırken sadece cam yeterli değildir.
Tehlikeli bölgelerde güvenliği sağlama
Yanıcı buharların sıcak filamlara temas etmesini ve kıvılcım oluşmasını engellemek için bu lambaları koruyucu bir kabın içine yerleştiriyoruz. Yüksek kaliteli contalar ve mühürler kullanılır; hiçbir şey içeri giremez.
Ayrıca dikkat: Yanmış bir lambayı açık havada değiştiremezsiniz. Önce sistemdeki havayı boşaltmanız gerekir. Lambaların “sıcak noktalar” oluşturmasını engellemek için özel tasarımlar yapılmıştır; çünkü bu tür noktalarda buharlar yoğunlaşarak yangına yol açabilir.
Tercihler ve dezavantajlar
Eğer sıcaklık tam olarak kontrol altında tutulmazsa, wafferlerde kusurlar oluşur. Altın kaplama bu durumu dengelemeye yardımcı olur, ancak üretim sürecini biraz daha karmaşık hale getirir.
Bu lambalar aynı zamanda oldukça hassastır; darbelerden hoşlanmazlar. Eğer altın tabakası çizilirse veya kuvarsta küçük bir çatlak oluşursa, mühür bozulur.
Lambaların düzgün çalışması için bazı ipuçları:
Montaj braketlerinin lambanın uçlarını sıkmadığından emin olun. Her türlü mekanik baskı kötüdür. Ayrıca, gücü hemen maksimum seviyeye çıkarmayın. İlk birkaç döngüde altın tabakasını korumak için gücü yavaşça artırın.