Fab katında, pişirme profilleri kayar - ve verim etkilenir. Konvansiyonel emiciler, wafer üzerinde sıcaklığı tutamaz. Sonuç olarak kenarlar yeterince...

300mm hattında, fotoresist pişirme işlemi termal bütçeyi kilitlediğiniz noktadır. Sıcak ya da soğuk bir kenar, hard bake sırasında bir kayma, CD...