300 mm hatlarında, foto direncin pişirilmesi sırasında meydana gelen yarım derecelik bir sapma bile, kaliteli ürünlerin atık haline gelmesine neden olabilir. Sadece tarayıcının hassasiyetini artırmak bu sorunu çözmeye yetmez. Pişirme işleminin kendisi de önemlidir.
Termal sapmalar ve kirlenme gibi sorunları çözmek için entegre hava bıçağına sahip bir kızılötesi lamba geliştirdik. Her ikisi de, görüntü üzerinde herhangi bir değişiklik olmadan bile ürünlerin tekrarlanabilirliğini kötüleştirir.
Önemli olan faktörler Bu cihaz, kısa dalga boylu kızılötesi ışık kaynağı ile bunun yanında yer alan hava bıçağını bir araya getirir. Lamba hızlı ve doğrudan ısı verir; ayrıca spektral kontrol de oldukça iyidir. Böylece termal gecikmeler ve aşırı ısınmalar kontrol altında tutulur.
Wafer üzerindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında tutulur ve bu değerler, tek bir sensörden elde edilen verilerle değil, yerinde yapılan ölçümlerle doğrulanır. Hava bıçağı, yüzeydeki parçacıkları ve nemleri uzaklaştırmak için laminar akış sağlar ve bunları odadan dışarı atar. Parçacık sayısı ise temiz oda standartlarına uygun olarak 1–100 arasında kalır.
Bunun sonucunda hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri için stabil bir termal ortam elde edilir; ayrıca kritik boyutların kontrolü daha iyi sağlanır ve yeniden işleme gereksinimleri azalır.
Litografide bu yöntemin işe yaramasının sebebi Foto direnç işlemleri oldukça hassastır; sıcaklık değişikliklerine ve hava içindeki kusurlara karşı duyarlıdır. Bu cihaz hızlı bir şekilde ısıya ulaşır, böylece bekleme süreleri azalır ve pişirme işlemi her seferinde istikrarlı olarak devam eder.
Tüm malzemeler temiz oda standartlarına uygundur ve hava akışı mühürlenmiştir; böylece gaz salınımı veya parçacık yayılımı olmaz. Enerji tüketimi ise konvektif fırınlara kıyasla daha düşüktür, çünkü enerji doğrudan filme aktarılır, fırın duvarlarına değil.
Güvenilirlik, cihazın kesintisiz çalışmasından kaynaklanır. Cihazlar 5.000 saatten fazla çalışabilir ve verimlilik kaybı %5’in altındadır; böylece 7/24 kesintisiz çalışma mümkün olur.
Atlanmaması gereken pratik detaylar Kurulum için özel bir egzoz sistemi gereklidir ve hava beslemesinin kalitesinin kontrol edilmesi gerekir. Eğer filtreleme yetersizse, parçacıklar tekrar ortama karışır.
Lamba, wafer’e doğru net bir görüş açısıyla en iyi şekilde çalışır; bu yüzden işlem odasının geometrisine dikkat etmek gerekir.
Hava bıçağının basıncını işlem koşullarına uygun şekilde ayarlayın. Basınç çok yüksekse foto direnci bozulabilir; çok düşükse parçacıklar uzaklaştırılamaz. Ayrıca, ışık kaynağının spektrumunu foto direncin emilim profiline uyumlu hale getirmek gerekir; böylece en yüksek düzeyde homojenlik sağlanır.