เลิกรอให้เตาอบทำงานเถอะ: วิธีที่ดีกว่าในการให้ความร้อนกับวัสดุชนิดวาเฟอร์
เรามาพูดถึงวิธีการให้ความร้อนแบบใช้อากาศไหลเวียนกันอย่างตรงไปตรงมาเถอะ นั่นเป็นวิธีการแบบเก่าๆ คือการทำให้อากาศร้อนขึ้นก่อน แล้วหวังว่าความร้อนนั้นจะส่งผลต่อวัสดุวาเฟอร์ในที่สุด
ปัญหาก็คือ วิธีนี้ใช้เวลานานมาก คุณต้องใช้เวลามากมายไปกับการรอให้อากาศร้อนขึ้น แทนที่จะใช้เวลานั้นในการประมวลผลวัสดุจริงๆ นี่เป็นอุปสรรคใหญ่มาก
วิธีแก้ปัญหาการรอคอย
เราตัดสินใจเลิกใช้วิธีการใช้อากาศไหลเวียน แล้วหันมาใช้วิธีที่มีประสิทธิภาพมากกว่า นั่นก็คือการใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ไม่ก่อให้เกิดโอโซน
แทนที่จะทำให้อากาศร้อนขึ้น หลอดไฟอินฟราเรดจะใช้รังสีแม่เหล็กไฟฟ้าเพื่อให้ความร้อนโดยตรงกับวัสดุ ไม่มีช่วงเวลาการเตรียมความร้อน คุณเพียงแค่เปิดหลอดไฟ แล้วมันก็จะร้อนขึ้นทันที
เมื่อคุณเลิกพยายามให้ความร้อนกับอากาศทั้งหมด แล้วหันมาโฟกัสที่พื้นผิวของวัสดุแทน ระยะเวลาในการประมวลผลก็จะลดลงอย่างมาก นอกจากนี้ คุณยังสามารถใช้พื้นที่ได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้น เพราะคุณไม่จำเป็นต้องมีห้องที่มีการกันความร้อนอีกต่อไป
ปัญหาเรื่องโอโซน (และวิธีแก้ไข)
ปัญหาก็คือ หลอดไฟอินฟราเรดแบบมาตรฐานมักจะก่อให้เกิดโอโซน เนื่องจากการแผ่รังสียูวี หากคุณทำงานในห้องที่มีความสะอาดสูง โอโซนก็จะเป็นปัญหาใหญ่ เพราะมันจะทำลายวัสดุที่มีความละเอียดสูงได้
เราแก้ปัญหานี้โดยใช้วัสดุควอตซ์ที่มีคุณสมบัติพิเศษ และใช้ตัวกรองเพื่อป้องกันรังสียูวีที่มีความยาวคลื่นน้อยกว่า 200 นาโนเมตร คุณยังคงได้ความร้อนที่สูงมาก แต่ไม่มีผลข้างเคียงจากสารเคมีอีกต่อไป นอกจากนี้ เรายังปรับแต่งหลอดไฟเพื่อให้ความร้อนกระจายตัวอย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวของวัสดุ ดังนั้นคุณจึงไม่ต้องกังวลเรื่องการบิดเบี้ยวของขอบวัสดุอีกต่อไป
ความจริงเกี่ยวกับหลอดไฟอินฟราเรด
หลอดไฟอินฟราเรดก็ไม่ใช่สิ่งมหัศจรรย์อะไรหรอก มันมีข้อจำกัดของมันเอง
สิ่งสำคัญที่ควรจำไว้ก็คือ หลอดไฟอินฟราเรดมีลักษณะเป็นการให้ความร้อนแบบมีทิศทาง อากาศร้อนจะล้อมรอบวัสดุ แต่หลอดไฟอินฟราเรดจะให้ความร้อนเฉพาะบริเวณที่มันสามารถมองเห็นได้เท่านั้น หากวัสดุมีรูปร่างที่ซับซ้อน ก็จะมีบริเวณที่ไม่ได้รับความร้อน
เพื่อแก้ปัญหานี้ คุณอาจต้องใช้หลอดไฟหลายดวง หรือใช้ตัวสะท้อนเพื่อส่งความร้อนเข้าไปในบริเวณที่มีความยากลำบาก
และอีกอย่างหนึ่งคือ คุณต้องระมัดระวังเรื่องตัวควบคุมอุณหภูมิด้วย เพราะหากคุณไม่ปรับแต่งค่าการควบคุมอุณหภูมิให้ถูกต้อง คุณอาจทำให้อุณหภูมิสูงเกินไป และทำลายวัสดุได้ก่อนที่คุณจะรู้ตัวด้วยซ้ำ