ในกระบวนการผลิตที่มีความยาวคลื่น 300 มิลลิเมตรนั้น แม้จะมีการเบี่ยงเบนเพียงครึ่งองศาในระหว่างขั้นตอนการอบฟิล์มโฟโตรีซิสต์ ก็อาจทำให้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพดีกลายเป็นขยะได้ การปรับค่าความแม่นยำของเครื่องสแกนเพียงอย่างเดียวไม่สามารถแก้ปัญหานี้ได้ ขั้นตอนการอบจึงจำเป็นต้องมีประสิทธิภาพสูง
เราได้ออกแบบหลอดไฟอินฟราเรดที่มีการติดตั้งมีดลมไว้ด้วย เพื่อแก้ปัญหาสองอย่างนี้ ได้แก่ การเบี่ยงเบนเนื่องจากความร้อน และมลพิษต่างๆ ปัญหาเหล่านี้จะส่งผลให้ความแม่นยำในการผลิตลดลง ก่อนที่เราจะสังเกตเห็นผลกระทบเหล่านี้ได้จากกราฟการวัดค่าต่างๆ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ อุปกรณ์นี้มีการรวมหลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นเข้ากับมีดลมที่อยู่ใกล้เคียงกัน หลอดไฟสามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็วและตรงเป้าหมาย พร้อมทั้งมีการควบคุมสเปกตรัมของแสงได้อย่างดี ซึ่งช่วยควบคุมความล่าช้าและความผิดปกติที่เกิดจากความร้อนได้
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นวาเฟอร์ถูกควบคุมไว้ที่ ±0.1°C และเราตรวจสอบค่านี้โดยการวัดในสถานที่จริง ไม่ใช่การคาดการณ์จากเซ็นเซอร์เพียงตัวเดียว มีดลมจะช่วยขจัดอนุภาคและความชื้นออกจากพื้นผิว แล้วกำจัดมันออกจากห้องปฏิบัติการ จำนวนอนุภาคจะอยู่ในระดับที่เหมาะสมตามมาตรฐาน Cleanroom Class 1–100
ผลลัพธ์ที่ได้คือ การควบคุมอุณหภูมิที่มั่นคงทั้งในขั้นตอนการอบแบบอ่อนและแบบแข็ง มีการควบคุมมิติต่างๆ ได้อย่างแม่นยำ และมีการต้องทำการผลิตซ้ำน้อยลง
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลในกระบวนการลิโธกราฟี กระบวนการประมวลผลฟิล์มโฟโตรีซิสต์นั้นมีความละเอียดอ่อนมาก มันมีความไวต่อประวัติอุณหภูมิและมลพิษในอากาศ อุปกรณ์นี้สามารถทำให้อุณหภูมิสูงขึ้นได้อย่างรวดเร็ว ดังนั้นเวลาที่เสียไปจึงน้อยลง และค่าอุณหภูมิก็จะคงที่ในแต่ละครั้งที่มีการอบ
วัสดุทั้งหมดเหมาะสมสำหรับการใช้งานในห้องปฏิบัติการที่มีมาตรฐานสูง และทางเดินอากาศก็ถูกปิดสนิท ดังนั้นจึงไม่มีการปล่อยก๊าซหรืออนุภาคออกมา การใช้พลังงานก็น้อยกว่าเตาอบแบบอื่น เพราะพลังงานถูกนำไปใช้กับฟิล์มโดยตรง ไม่ใช่กับผนังห้องอบ
ความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์นี้ขึ้นอยู่กับเวลาที่สามารถใช้งานได้ อุปกรณ์นี้สามารถทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพน้อยกว่า 5% ทำให้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงโดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด
รายละเอียดที่ไม่สามารถมองข้ามได้ การติดตั้งอุปกรณ์นี้จำเป็นต้องมีระบบระบายอากาศที่เหมาะสม และต้องมีการตรวจสอบคุณภาพของอากาศที่จะนำมาใช้ด้วย หากการกรองอากาศไม่ดีพอ ก็จะทำให้มีอนุภาคเข้ามาอีก
หลอดไฟจะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อมีมุมมองที่ชัดเจนไปยังแผ่นวาเฟอร์ ดังนั้นจึงต้องใส่ใจกับรูปร่างของห้องปฏิบัติการด้วย
ควรตั้งค่าความดันของมีดลมให้อยู่ในช่วงที่เหมาะสม หากความดันสูงเกินไป ก็อาจทำให้ฟิล์มโฟโตรีซิสต์เสียหายได้ หากความดันต่ำเกินไป ก็จะไม่สามารถขจัดอนุภาคได้ นอกจากนี้ ยังต้องปรับสเปกตรัมของหลอดไฟให้เข้ากับสเปกตรัมการดูดกลืนของฟิล์มโฟโตรีซิสต์ด้วย นั่นจะช่วยให้ได้ความสม่ำเสมอที่ดีที่สุด