Op de 300mm-lijn is een verschuiving van een halve graad tijdens het bewerken van de fotoresist al voldoende om een goede productiepartij te verpesten. Het verscherpen van de toleranties van de scanner alleen zal dit niet oplossen. De bewerking moet op zichzelf nauwkeurig genoeg zijn.
We hebben een infraroodlamp met een ingebouwde luchtmes ontworpen om deze twee problemen aan te pakken: thermische afwijkingen en vervuiling. Beide factoren kunnen de reproduceerbaarheid van het proces negatief beïnvloeden, nog voordat ze zichtbaar zijn in de grafieken.
Wat er echt toe doet De unit combineert een kortgolfindfraroodemitter met een luchtmes dat zich recht naast de emitter bevindt. De lamp verwarmt snel en rechtstreeks, met nauwkeurige controle over het spectrum. Hierdoor blijven thermische afwijkingen onder controle.
De temperatuurovereenstemming over de hele plaat wordt behouden op ±0,1°C. We controleren dit met in-situ-metingen, in plaats van door gegevens van één sensor te gebruiken. Het luchtmes zorgt voor een laminaire luchtvloeiing, zodat deeltjes en vocht van het oppervlak worden verwijderd. Hierdoor blijft het aantal deeltjes binnen de grenzen van een schone ruimte van klasse 1–100.
Het resultaat is een stabiele thermische omstandigheid tijdens zowel zachte als harde bewerkingen, consistente controles van de kritieke dimensies, en minder herwerkingswerk.
Waarom dit werkt in de litografie Het verwerken van fotoresist vereist veel precisie. Het is gevoelig voor temperatuurschommelingen en luchtdoorlatende defecten. Deze unit bereikt snel de gewenste temperatuur, waardoor de stilstandtijd minimaal is en het bewerkingproces consistent blijft.
Alle materialen zijn geschikt voor gebruik in een schone ruimte en het luchtsysteem is afgesloten, zodat er geen uitstoot van gassen of deeltjes optreedt. De energieverbruik is lager dan bij conventionele ovens, omdat de energie rechtstreeks in het materiaal terechtkomt, in plaats van in de wanden van de oven.
Betrouwbaarheid betekent dat de unit langdurig kan werken, met minder dan 5% daling in de productiecapaciteit. Hierdoor kan de unit 24/7 draaien, zonder onverwachte stoppen.
Praktische details die je niet kunt negeren Voor de installatie is een aparte afvoersystemen nodig. Je moet ook controleren of de kwaliteit van de luchttoevoer goed is. Als de filtratie niet goed genoeg is, komen er weer deeltjes in het proces terecht.
De lamp presteert het beste wanneer er een goede zichtlijn naar de plaat is. Let dus goed op de geometrie rondom de proceskamer.
Stel de druk van het luchtmes in binnen de juiste range. Te hoge druk kan de fotoresist beschadigen; te lage druk maakt het onmogelijk om deeltjes te verwijderen. Pas ook het spectrum van de emitter aan op dat van de fotoresist – zo krijg je de beste uniformiteit.