Op de verpakkingsafdeling is een temperatuurverschil van 0,3°C tijdens het bakproces van de fotoresistent voldoende om de toleranties te overschrijden en zo de wafers onbruikbaar te maken. We hebben onze Mini LED-chipverpakkingslamp ontworpen om dit probleem vanaf de bron aan te pakken, zodat de temperatuur altijd binnen de gewenste grenzen blijft – shift na shift.
Wat technisch gezien echt belangrijk is:
We combineren NIR-geoptimaliseerde Mini LED-emitters met een kwartsdiffuseerende thermische窓. Hierdoor wordt er op het niveau van de wafers een uniformiteit van ±0,1°C bereikt in de actieve zone. De temperatuurrepetitie blijft op ±0,2°C per bakproces, waardoor de parameters stabiel blijven en de kritieke dimensies onder controle blijven.
Het apparaat is ontworpen voor schone ruimtes van klasse 1–100: er worden materialen gebruikt die weinig gassen afgeven, en er is een laminaire luchtstroom die zorgt voor een nulwaarde aan deeltjesvorming tijdens het constante gebruik. De uitgaande lichtintensiteit blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in intensiteit. Dit maakt het mogelijk om preventieve onderhoudsacties uit te stellen, zonder dat de productie wordt beïnvloed door temperatuurschommelingen.
Waarom het werkt bij de verpakkingsvan Mini LED-chips:
Er is behoefte aan warmte die precies op de plek terechtkomt waar de bondpaden en de encapsulant elkaar raken, zonder dat de omliggende structuren worden aangetast. Deze lamp concentreert het thermische veld op deze plek, zodat de temperatuur op het substraat lager blijft. Hierdoor neemt de energieverbruik ook met 25% af vergeleken met breedbandige halogeenlampen.
Dit betekent snellere temperatuurstijgingen, betere controle over de parameters en minder herwerkingen. Op het gebied van lithografie en fotoresistenten leidt dit tot betere resultaten: hogere opbrengsten en minder stilstand vanwege temperatuurschommelingen.
Praktische details:
De lamp heeft een aparte 24 VDC-aansluiting en een 3-pinsconnector voor temperatuurregeling. Integratie in de meeste verpakkingsapparaten is eenvoudig, maar het is belangrijk om de afstand tussen de emitter en het substraat op ±0,25 mm te houden. Plan een korte testperiode om de instellingen te bepalen.
Ondanks dat het ontwerp zorgt voor weinig deeltjes, moet de lamp toch worden gebruikt binnen de vereiste luchtcirculatie- en temperatuurgrenzen, om de vereisten van klasse 1–100 na te komen.