Op de 300mm-lijn is zelfs een temperatuurschommeling van een halve graad tijdens het zachte bakproces voldoende om de vereiste specificaties voor de kritieke dimensies niet te worden nageleefd. Dit resulteert erin dat veel wafer’s asbest worden verklaard. Die ultrazuiverheidswarmtelampen zijn geen aanvullingen; ze vormen juist de thermische stabilisator die zorgt voor een constante temperatuur tijdens het verwerken van fotoresisten in zuiverruimten van klasse 1–100.
We hebben deze lamp ontworpen met behulp van kortegolflang infraroodlicht, zodat het water efficiënt wordt opgewarmd, zonder dat er hete plekken ontstaan. De thermische uniformiteit over het hele vat blijft binnen ±0,1°C. Hierdoor kunnen de bakparameters steeds worden gecontroleerd, run na run. De constructie – gemaakt van kwarts en corrosievertragende materialen – zorgt ervoor dat er geen deeltjes worden gegenereerd en dat de lamp continu kan werken onder invloed van UPW.
De uitgangssnelheid van de lamp blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in intensiteit. De lamp is bedoeld voor 24/7 gebruik, zodat er geen onvoorziene stilstanden optreden.
In de litografie vereisen zowel het zachte als het harde bakproces een nauwkeurige temperatuurregeling. Deze lamp zorgt ervoor dat de temperatuur van de wafer’s precies overeenkomt met de vereisten, keer op keer. Hierdoor kan de kwaliteit van de wafer’s beter worden gecontroleerd, waardoor er minder herwerkingen nodig zijn en er minder wafer’s als asbest worden verklaard.
Ook het energieverbruik neemt af. Het kortegolflang infraroodlicht wordt alleen gebruikt wanneer dit nodig is, waardoor er geen verspilling van energie optreedt. Bovendien zorgt de lange levensduur van de lamp voor gemakkelijke onderhoudswerkzaamheden.
Het praktische voordeel is dat de lamp compact is en dat deze moet worden afgesteld op de juiste positie ten opzichte van het vloeistofpad. Er moet ook regelmatig onderhoud worden uitgevoerd. Verwacht niet dat de lamp eenvoudig kan worden geïnstalleerd in bestaande apparatuur – controleer eerst of de integratie mogelijk is.
Controleer de geleidbaarheid van het UPW, de stromingsnelheid en de compatibiliteit van de connectoren. Als dit allemaal in orde is, dan is de benodigde herhaalbaarheid al ingebouwd in de lamp, zodat je hier geen last van hebt.