Berhenti menunggu oven anda siap panas: Cara yang lebih baik untuk memanaskan wafer
Mari kita jujur tentang kaedah pemanasan menggunakan udara bertekanan. Ini merupakan cara lama untuk memanaskan sesuatu benda. Pada dasarnya, anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, dengan harapan bahawa haba tersebut akan sampai ke wafer tersebut.
Masalahnya? Proses ini memakan masa yang lama. Anda perlu menghabiskan masa yang banyak menunggu sehingga udara mencapai suhu yang diinginkan, berbanding masa yang digunakan untuk memproses wafer tersebut. Ini merupakan halangan besar dalam proses pengeluaran.
Mengatasi masalah penantian
Kami memutuskan untuk berhenti menggunakan kaedah pemanasan menggunakan udara, dan menuju ke cara yang lebih efektif. Inilah fungsi lampu inframerah tanpa ozon.
Daripada memanaskan udara, lampu inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan objek secara langsung. Tidak perlu ada fasa “pemanasan” terlebih dahulu. Anda hanya perlu menyala kan lampu tersebut, dan ia akan segera menjadi panas. Segera.
Dengan cara ini, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer akan berkurangan dengan drastik. Selain itu, ruang yang diperlukan juga berkurangan. Anda tidak perlu lagi menggunakan bilik khas yang besar untuk menyimpan wafer tersebut, kerana anda tidak perlu menahan udara panas di dalamnya.
Masalah ozon (dan cara mengatasinya)
Masalahnya ialah lampu inframerah biasanya menghasilkan ozon akibat pelepasan sinar UV. Jika anda bekerja di bilik bersih, ozon merupakan masalah serius. Ia boleh merosakkan permukaan wafer yang halus serta merosakkan bahan fotorezistan yang digunakan.
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan komposisi kuarsa khusus serta penapis dalaman yang dapat menahan sinar UV di bawah 200nm. Dengan cara ini, anda masih boleh mendapatkan kepanasan yang cukup, tetapi tanpa kesan sampingan kimia yang berbahaya. Kami juga menyesuaikan lampu tersebut agar haba dapat tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer, supaya permukaan wafer tidak rosak.
Realiti
Lampu inframerah bukanlah penyelesaian ajaib. Ia mempunyai kelemahan tersendiri. Perkara yang perlu diingat ialah lampu inframerah hanya dapat memanaskan bahagian yang ia “lihat”. Jika wafer tersebut mempunyai bahagian yang curam atau bentuk 3D yang rumit, maka akan ada bahagian yang tidak akan dipanaskan.
Untuk mengatasi masalah ini, anda mungkin perlu menggunakan beberapa lampu yang berbeza atau menggunakan reflektor untuk memantulkan haba ke bahagian yang sukar dicapai.
Selain itu, perlu berhati-hati semasa menggunakan pengawal PID. Jika penyetelan tidak tepat, suhu wafer boleh melebihi had yang ditetapkan, dan wafer boleh rosak sebelum anda sedar apa yang berlaku.