진공 챔버용 적외선 히터

반제품의 탄소 배출을 줄이는 방법: IR 가열이 왜 효과적인가 반도체를 제조할 때는 열이 매우 중요한 요소입니다. 하지만 기존의 방식은 솔직히 말해 낭비가 심합니다. 대부분의 전통적인 저항식 히터들은 웨이퍼를 적절한 온도로 만들기 위해 방 안의 모든 곳을 가열합니다....