클래스 100 클린룸을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
만약 반도체 공장을 운영한다면, 오염된 제품이 생기는 것이 얼마나 큰 문제인지 잘 알고 있을 것입니다. 클래스 100 환경에서는 가열 소자가 입자를 방출하거나 유해 가스를 배출해서는 안 됩니다. 그런 일은 절대 일어나서는 안 됩니다.
대부분의 일반적인 적외선 램프들은 높은 열 스트레스에 의해 손상되기 쉽습니다. 램프가 파손되거나 부스러져서 미세한 파편들이 생산 라인 위로 떨어집니다. 이는 재앙과 같은 상황입니다.
우리는 고순도의 합성 석영을 사용하여 이 문제를 해결합니다.
석영이 중요한 이유
우리는 수산기(OH) 함량이 낮은 융합 실리카를 사용합니다. 간단히 말해, 온도가 높아져도 램프가 변형되거나 부스러지지 않습니다. 또한, 단파 적외선을 거의 흡수하지 않고 그대로 통과시킬 수 있습니다. 이는 웨이퍼나 기판이 열을 받는 동안 램프가 상대적으로 차가운 상태를 유지할 수 있게 해줍니다.
공장에 설치하는 방법
아무도 램프를 교체하기 위해 공장 전체를 다시 설계하고 싶어 하지 않습니다. 그래서 우리는 램프를 그대로 교체할 수 있도록 설계했습니다. 길이와 직경에 대한 허용 오차를 매우 엄격하게 관리함으로써, 램프가 원활하게 설치될 수 있도록 합니다. 또한, 특수한 전극을 사용하여 시간이 지나도 산화되거나 손상되지 않도록 합니다. 이를 통해 향후 발생할 수 있는 많은 유지보수 문제를 줄일 수 있습니다.
“번인” 현상이 없다
진짜 비결은 바로 여기에 있습니다. 대부분의 사람들은 고급 코팅이 중요하다고 생각하지만, 사실은 원료 석영의 순도와 그 세척 방식이 중요합니다. 우리는 램프가 공장을 떠나기 전에 모든 유기적 잔여물을 제거합니다. 보통 새 램프는 처음 사용할 때 탄소 입자를 클린룸에 방출하는 “번인” 현상이 있습니다. 하지만 우리의 램프는 그런 문제가 없습니다. 전원을 연결하고 스위치를 켜면, 첫 순간부터 깨끗하게 작동합니다.