Berhentilah Menunggu Oven Bekerja: Cara Lebih Baik untuk Memanaskan Wafer
Mari kita akui kekurangan dari metode konveksi udara. Itu merupakan cara lama untuk memanaskan suatu benda. Pada dasarnya, Anda hanya menghangatkan udara di sekitar benda tersebut, dengan harapan panasnya akan sampai ke permukaan wafer.
Masalahnya? Proses ini membutuhkan waktu yang sangat lama. Anda menghabiskan banyak waktu menunggu hingga udara mencapai suhu yang diinginkan, padahal waktu yang seharusnya digunakan untuk memproses wafer justru berkurang. Ini merupakan hambatan besar.
Mengatasi Masalah Waktu Tunggu
Kami memutuskan untuk berhenti menggunakan metode konveksi udara dan beralih ke cara yang lebih efektif. Inilah fungsi lampu inframerah tanpa ozon.
Alih-alih menghangatkan udara, lampu inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan permukaan benda secara langsung. Tidak perlu ada fase “pemanasan” terlebih dahulu. Cukup nyalakan lampu tersebut, maka permukaan benda akan langsung menjadi panas. Segera saja.
Dengan cara ini, waktu yang dibutuhkan untuk memanaskan wafer menjadi sangat singkat. Selain itu, ruang yang diperlukan juga berkurang. Anda tidak perlu lagi menggunakan ruang isolasi yang besar, karena tidak perlu menyimpan udara panas di sana.
Masalah Ozon (dan Solusinya)
Masalahnya adalah: lampu inframerah biasanya menghasilkan ozon akibat emisi UV. Jika Anda bekerja di ruang bersih, ozon merupakan masalah serius. Ozon dapat merusak lapisan tipis pada permukaan wafer.
Kami mengatasi hal ini dengan menggunakan komposisi kuarsa khusus dan filter internal yang mampu menahan spektrum UV di bawah 200 nm. Dengan demikian, panas yang dihasilkan tetap intens, tetapi tanpa efek samping kimia yang berbahaya. Kami juga menyetel lampu tersebut sedemikian rupa sehingga panasnya tersebar merata di seluruh permukaan wafer, sehingga Anda tidak perlu khawatir permukaan wafer akan melengkung.
Realitasnya
Lampu inframerah bukanlah solusi ajaib. Ada beberapa kekurangan yang harus diperhatikan.
Hal penting yang perlu diingat adalah bahwa lampu inframerah memiliki arah penyinaran tertentu. Udara panas akan mengelilingi benda, tetapi lampu inframerah hanya memanaskan bagian yang bisa “dilihat” olehnya. Jika permukaan benda memiliki celah-celah atau bentuk 3D yang rumit, maka akan ada bagian yang tidak terpanaskan.
Untuk mengatasi hal ini, Anda perlu menggunakan beberapa lampu atau reflektor untuk memantulkan panas ke bagian-bagian yang sulit dijangkau.
Selain itu, perlu berhati-hati dalam menggunakan kontroler PID. Jika kalibrasinya tidak tepat, suhu bisa melebihi batas yang diinginkan, sehingga substrat bisa rusak sebelum Anda menyadarinya.