Di lantai pemrosesan kemasan, penurunan suhu sebesar 0,3°C selama proses pembakaran fotoresist sudah cukup untuk membuat toleransi suhu tidak terpenuhi, sehingga wafer menjadi limbah. Kami merancang lampu pengemasan Mini LED agar dapat menghilangkan penurunan suhu tersebut di sumbernya, sehingga suhu tetap berada dalam rentang yang ditentukan, dari satu siklus ke siklus berikutnya.
Apa yang benar-benar penting secara teknis? Kami menggunakan emitor Mini LED yang telah disesuaikan untuk gelombang inframerah, bersama dengan sistem pendingin berbahan kuarsa, sehingga suhu di area aktif wafer tetap konstan pada tingkat ±0,1°C. Repeatabilitas suhu tetap pada tingkat ±0,2°C dari satu proses pembakaran ke proses pembakaran berikutnya. Hal ini memungkinkan profil pembakaran tetap stabil, dan dimensi kritis wafer tetap terkendali.
Paket ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100: bahan-bahannya memiliki emisi gas yang rendah, dan aliran udaranya terkontrol dengan baik, sehingga tidak ada partikel yang dihasilkan selama operasi berlangsung. Kinerja lampu tetap stabil selama lebih dari 5.000 jam, dengan penurunan intensitas cahaya kurang dari 5%. Dengan demikian, perawatan preventif dapat dilakukan tanpa harus khawatir akan fluktuasi suhu selama proses produksi.
Mengapa desain ini efektif untuk pengemasan chip Mini LED? Diperlukan panas yang ditujukan tepat ke titik pertemuan antara pad pengikat dan lapisan pelindung wafer, tanpa mengganggu struktur di sekitarnya. Lampu ini memfokuskan energi panas ke titik target tersebut, sehingga beban termal yang dialami oleh wafer berkurang, dan konsumsi energinya berkurang hingga 25% dibandingkan dengan sistem halogen biasa.
Hal ini berarti proses pemanasan berjalan lebih cepat, kontrol profil suhu menjadi lebih akurat, dan jumlah pekerjaan ulang pun berkurang. Dalam hal litografi dan fotoresist, hal ini berarti kinerja proses pembakaran akan lebih baik, sehingga hasilnya lebih berkualitas dan waktu henti produksi berkurang.
Detail praktisnya: Lampu ini membutuhkan suplai listrik sebesar 24 VDC, serta konektor 3 pin untuk umpan balik suhu. Integrasi lampu ini dengan peralatan pengemasan cukup mudah, tetapi penyetelan posisinya harus sangat tepat: jarak antara emitor dan substrat harus dipertahankan dalam kisaran ±0,25 mm. Lakukan uji coba singkat untuk menentukkan pengaturan yang tepat.
Meskipun desain ini mampu mengurangi jumlah partikel, lampu ini tetap perlu dioperasikan dalam rentang aliran udara dan suhu yang ditentukan, agar kinerjanya tetap sesuai standar.