دیگر منتظر باقی نمانید؛ روش بهتری برای گرم کردن ویفرها وجود دارد.
بیایید صادقانه درباره روشهای مرسوم گرم کردن صحبت کنیم. این روشها قدیمی هستند؛ در واقع، شما یک حجم بزرگ از هوا را گرم میکنید و امیدوارید که گرمای ناشی از آن به ویفرها برسد.
مشکل اینجاست که این روش خیلی زمانبر است؛ شما زمان زیادی را صرف انتظار برای رسیدن هوا به دمای مورد نظر میکنید، در حالی که زمان کمتری برای فرآیند تولید ویفرها صرف میشود. این یک مشکل بزرگ است.
راه حل:
ما تصمیم گرفتیم که دیگر از روشهای مرسوم استفاده نکنیم و مستقیماً به منبع گرما مراجعه کنیم. اینجاست که لامپهای مادون قرمز بدون ایجاد ازن وارد عمل میشوند.
در حالی که روشهای مرسوم از هوا برای گرم کردن استفاده میکنند، لامپهای مادون قرمز از تابش الکترومغناطیسی استفاده میکنند؛ این تابش مستقیماً به سطح قطعه برخورد میکند. نیازی به مرحله گرم شدن نیست؛ کافی است لامپ را روشن کنید تا بلافاصله گرم شود.
وقتی که دیگر سعی نکنید کل حجم هوا را گرم کنید، زمان لازم برای فرآیند تولید کاهش مییابد؛ همچنین، فضای مورد نیاز نیز کمتر میشود. دیگر نیازی به استفاده از محفظههای بزرگ و پرجنسیت نیست، زیرا دیگر سعی نمیکنید هوای گرم را درون آنها نگه دارید.
مشکل ازن و راه حل آن:
مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز استاندارد، به دلیل تابش UV، ازن تولید میکنند؛ اگر در یک اتاق تمیز کار میکنید، ازن میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند. ما این مشکل را با استفاده از ترکیبات خاصی از کوارتز و فیلترهای داخلی حل کردیم؛ این فیلترها تابش UV زیر ۲۰۰ نانومتر را مسدود میکنند. شما همچنان میتوانید از گرمای شدید لامپها استفاده کنید، اما بدون ایجاد عوارض شیمیایی. همچنین، این لامپها به گونهای تنظیم شدهاند که گرما به طور یکنواخت بر روی سطح ویفر پخش شود؛ بنابراین نیازی نیست نگران تغییر شکل لبههای ویفر نباشید.
واقعیت:
البته، لامپهای مادون قرمز جادو نیستند؛ آنها نیز دارای محدودیتهایی هستند.
مهمترین نکته این است که لامپهای مادون قرمز فقط سطوحی را گرم میکنند که میتوانند آنها را ببینند؛ اگر قطعه شما دارای فرورفتگیهای عمیق یا شکل سهبعدی خاصی باشد، برخی از نواحی آن سرد خواهند ماند.
برای حل این مشکل، شاید نیاز داشته باشید از چند لامپ مختلف استفاده کنید یا از منعکسکنندهها برای انتقال گرما به آن نواحی استفاده کنید.
همچنین، باید مراقب باشید؛ زیرا انرژی تولید شده توسط لامپها بسیار زیاد است؛ بنابراین باید در تنظیمات PID دقت کنید. اگر تنظیمات را به درستی انجام ندهید، ممکن است دمای قطعه بیش از حد بالا برود و قطعه خراب شود.