حفظ ایمنی در فرآیندهای تمیزکاری شیمیایی، با استفاده از لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا
اگر در کارخانههای تولید نیمههادی کار میکنید، میدانید که مراحل تمیزکاری شیمیایی چقدر پرخطر است؛ زیرا در این مراحل از حلالهای فرار و قابل اشتعال استفاده میشود. استفاده از لامپهای مادون قرمز معمولی در چنین محیطی، در واقع به معنای ایجاد خطر آتشسوزی است.
به همین دلیل، از لامپهای کوارتزی پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. این لامپها را در غلافهای ویژهای قرار میدهیم تا از اشتعال جلوگیری شود و گرما در همان محل مورد نیاز باقی بماند.
چرا از طلا و کوارتز استفاده میشود؟
راز این موضوع این است که لایه نازکی از طلا روی سطح کوارتز قرار میگیرد؛ این کار باعث تغییر طیف تابش لامپ میشود. به عبارت دیگر، این کار باعث میشود لامپ بازتابندهتر شود.
طلا، گرما را به جای بازگشت به داخل لامپ، به سمت ویفر هدایت میکند؛ در نتیجه، تراکم گرما در همان محل مورد نیاز بالاتر میشود.
کوارتز نیز برای تحمل شوکهای حرارتی عالی است؛ اما در مواجهه با مواد شیمیایی خطرناک، استفاده صرف از شیشه کافی نیست.
حفاظت در مناطق خطرناک
برای جلوگیری از تماس بخارات قابل اشتعال با سیمهای داغ لامپ، این لامپها را در غلافهای محافظتی قرار میدهیم. از فومهای با کیفیت بالا و سیستمهای درزبندی محکم برای این منظور استفاده میکنیم؛ تا هیچ چیزی وارد لامپ نشود.
همچنین، نمیتوانید لامپی که خراب شده را در فضای باز جایگزین کنید؛ باید ابتدا سیستم را تمیز کنید. ما غلاف لامپ را به گونهای طراحی کردهایم که از ایجاد «نقاط داغ» جلوگیری شود؛ زیرا این نقاط محل مناسبی برای تشکیل بخارات و ایجاد آتشسوزی هستند.
معایب استفاده از این لامپها
اگر دمای لامپ پایدار نباشد، ممکن است ویفر دارای نقص شود. پوشش طلا به استabil کردن دمای لامپ کمک میکند؛ اما این کار فرآیند تولید را کمی پیچیدهتر میکند.
همچنین، این لامپها کمی حساس هستند؛ اگر لایه طلا خراش بخورد یا کوارتز دچار ترک شود، درزبندی لامپ از بین میرود.
چند نکته برای حفظ عملکرد لامپها:
مطمئن شوید که براکتهای متصل به لامپ، انتهای لامپ را فشار نمیدهند؛ هرگونه فشار مکانیکی میتواند مشکلاتی ایجاد کند. همچنین، نباید بلافاصله ولتاژ را به حداکثر برسانید؛ باید به آرامی ولتاژ را افزایش دهید تا از آسیب به لایه طلا جلوگیری شود.