Hören Sie auf, auf heiße Luft zu warten – warum ist Infrarotbeheizung die beste Lösung für Ihre Produktionslinie
Die meisten älteren Halbleiterproduktionslinien nutzen immer noch Methoden mit warmer Luft zur Erwärmung der Bauteile. Das ist ein langsamer Prozess: Man bläst Luft durch den Raum, erhitzt so den ganzen Raum – und wartet anschließend einfach ab. Im Grunde genommen wartet man darauf, dass sich die Wafer durch Konvektion erwärmen – was zu erheblichen Verzögerungen in der Produktion führt.
Wir machen es anders. Anstelle von Luftkompressoren verwenden wir hochintensive Infrarotlampen, die hinter präzisen Quarzglasabdeckungen angebracht sind.
Der wirkliche Kostenfaktor des Wartens
Heiße Luft ist sehr langsam. Die Luft um das Bauteil herum wirkt wie eine Art „Decke“, die das Bauteil isoliert und alles verlangsamt.
Infrarotstrahlen hingegen kümmern sich nicht um die Luft. Sie gelangen direkt vom Glühfaden zum Zielobjekt – das geht blitzschnell.
Stellen Sie sich vor: Wenn Sie einen 10-minütigen Erwärmungsprozess auf 30 Sekunden pro Batch verkürzen können, verschwindet dieses Problem sofort. Das bedeutet viel mehr Produktivität.
Das Geheimnis liegt im Quarz
Sie fragen sich vielleicht, warum wir uns überhaupt mit Quarzglasabdeckungen abmühen. Normales Glas würde bei voller Leistung der Lampen schmelzen oder zerbrechen.
Quarz hingegen kann die Hitze problemlos aushalten – außerdem lässt es die Kurzwellen-Infrarotstrahlen ungehindert durchdringen. Zudem schützt das Quarzglas den Glühfaden vor allen chemischen Stoffen, die sich in der Bearbeitungskammer befinden.
Und das Beste daran: Wenn die Abdeckung durch Produktionsabfälle verschmutzt wird, kann man einfach den Quarzrohr austauschen. Man muss nicht stundenlang damit beschäftigt sein, die gesamte Lampe neu zu verdrahten.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Es handelt sich hierbei nicht um eine „Plug-and-Play“-Lösung. Da die Infrarotbeheizung sehr intensiv ist, entsteht ein großer Druck auf die Kühlsysteme. Man kann diese Lampen nicht einfach in ein altes Konvektionskühlsystem einbauen und darauf hoffen, dass alles funktioniert.
Man muss also die Kühlkörper überprüfen. Wenn sie die Hitzebelastung an den Wänden der Kammer nicht aushalten können, werden die Bauteile beschädigt.
Aber sobald die Verkabelung und das Kühlsystem richtig eingestellt sind, verschwendet man keine Energie mehr mit der Erwärmung der Luft – die Wärme kommt direkt auf das Bauteil.