Sicheres Arbeiten mit goldbeschichteten Infrarotlampen bei der chemischen Reinigung
Wenn Sie in einer Halbleiterfabrik arbeiten, kennen Sie das Problem. Die Phasen der chemischen Reinigung sind ein „Minenfeld“ aus brennbaren Lösungsmitteln. Eine herkömmliche Infrarotlampe in diese Umgebung zu setzen, bedeutet im Grunde, ein Feuerherd zu schaffen.
Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Quarzlampen. Wir umhüllen sie mit speziellen Gehäusen, damit nichts entzünden kann und die Wärme genau dort bleibt, wo sie benötigt wird.
Warum Gold und Quarz?
Der Trick ist folgender: Auf die Quarzhülle wird eine dünne Goldschicht aufgetragen. Dadurch ändert sich das Emissionsspektrum – mit anderen Worten: Die Lampe wird reflektierender. Anstatt dass die Wärme in das Lampengehäuse zurückfließt, wird die Infrarotenergie direkt auf die Wafer geleitet. So entsteht eine viel höhere Wärmedichte genau dort, wo sie benötigt wird.
Quarz eignet sich hervorragend, um thermische Belastungen zu bewältigen. Doch bei Kontakt mit aggressiven Chemikalien reicht Glas allein nicht aus.
Schutz in gefährlichen Bereichen
Um zu verhindern, dass brennbare Dämpfe einen heißen Glühfaden berühren oder Funken erzeugen, verschließen wir diese Lampen in einem schützenden Gehäuse. Dabei kommen hochwertige Dichtungen zum Einsatz – nichts kann mehr eindringen.
Und ein wichtiger Hinweis: Man kann eine durchgebrannte Lampe nicht einfach im Freien ersetzen. Zuerst muss das System entlüftet werden. Das Gehäuse wurde extra so konzipiert, dass keine „heißen Punkte“ entstehen – schließlich sind gerade dort die Dämpfe am ehesten zur Kondensation neigend und können somit Feuer fangen.
Kompromisse – denn es gibt immer Nachteile
Wenn die Temperatur nicht stabil ist, entstehen Defekte an den Wafern. Die Goldbeschichtung hilft dabei, die Temperatur stabil zu halten – doch dadurch wird der Herstellungsprozess etwas komplizierter. Zudem sind diese Lampen empfindlich gegenüber Stößen. Wenn die Goldschicht beschädigt wird oder im Quarz Risse entstehen, ist der Schutz verloren.
Ein paar Tipps zur ordentlichen Funktion der Lampen:
Stellen Sie sicher, dass die Befestigungselemente die Enden der Lampe nicht zusammendrücken. Jede mechanische Belastung ist schädlich. Außerdem sollte man die Leistung nicht sofort auf Maximum erhöhen. Es ist besser, die Leistung schrittweise zu erhöhen, um die Goldschicht während der ersten Betriebszyklen zu schützen.