Hören Sie auf, die Wände der Geräte zu erwärmen.
Die Erwärmung des Innenraums eines Halbleiterwerkzeugs ist ein echtes Problem. Man benötigt viel Wärmeenergie, um die Wafer oder Substrate zu erwärmen – doch man möchte auf keinen Fall, dass diese Wärme in die inneren Wände der Maschine gelangt.
Wenn die Wärme in alle Richtungen abgestrahlt wird, nehmen die Wände der Maschine diese Energie auf. Dadurch entstehen gefährlich heiße Oberflächen, und das Kühlsystem muss Überstunden machen, um zu verhindern, dass alles schmilzt.
Der Schlüssel liegt im Gold.
Standard-Infrarotleuchten strahlen die Wärme in alle Richtungen aus – insgesamt 360 Grad. Wir lösen dieses Problem, indem wir die Leuchte mit einem Reflektor aus hochreinem Gold kombinieren. Gold wird nicht nur für Schmuck verwendet – es ist außerdem hervorragend darin, Infrarotwellen zurückzuspiegeln.
Anstatt dass die Wärme in alle Richtungen streut, wird sie durch das Gold in einen eng fokussierten Strahl gelenkt. Das Ergebnis: Die Energie gelangt genau dorthin, wo sie hin soll. Die inneren Wände bleiben kühl, und die Klimaanlagen sowie Kühlgeräte können endlich ausruhen.
Ein paar Dinge, die man berücksichtigen sollte:
Da die Wärme an einem bestimmten Punkt konzentriert wird, muss man besonders vorsichtig sein, wo man die Leuchte montiert. Wenn sie zu nahe ist, entstehen heiße Stellen auf den Komponenten. Ist sie wiederum zu weit entfernt, breitet sich der Strahl aus – dadurch geht die Wärmedämmung verloren. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem – aber es lohnt sich.
Das Beste daran ist, dass diese Leuchten als Ersatz für herkömmliche Leuchten geeignet sind. Man behält die gleiche Leistung bei, doch die Energie wird effektiv genutzt.
Sicherheit für die Menschen:
Letztendlich geht es um Sicherheit. Wenn Techniker ein Werkzeug zur Wartung öffnen, sollten sie sich keine Sorgen machen müssen, dass ihre Hände durch Metalltemperaturen von 60°C verbrannt werden. Durch den Einsatz von gerichteten Infrarotstrahlen wird die Wärme vom Umfeld auf das Werkstück geleitet. Der Energieverbrauch bleibt gleich – doch die gesamte Prozedur wird viel sicherer.