Vermeiden Sie, dass die Stopplampen Ihre Wafer zerstören
Wenn eine Lampe während der Trocknung der Wafer ausfällt, handelt es sich nicht nur um ein Problem bezüglich der Produktionsunterbrechung – es ist vielmehr ein echter Albtraum. Stellen Sie sich vor, eine Quarztube würde unter hoher Belastung zerbrechen. Plötzlich fallen Glassplitter sowie Halogengas direkt auf das Silizium. Das ist ein Chaos. Genau deshalb gestalten wir unsere Reflektoren so, dass sie mehr sind als nur glänzende Metallstücke – sie bilden somit Ihre erste Verteidigungslinie.
Die Unordnung in Schach halten
Wir verwenden für unsere Reflektoren eine „tief geformte“ Struktur, die die Lampe vollständig umschließt. Dabei geht es nicht nur darum, das Licht in die richtige Richtung zu lenken. Falls eine Tube ausfällt, fängt der Gehäuseteil den größten Teil der Trümmer auf. Dadurch bleiben die Partikel im Inneren des Gehäuses und verteilen sich nicht über die gesamte Produktionslinie.
Intelligenter arbeiten – nicht mit höherer Temperatur
Es ist keine gute Idee, Quarztuben in einer Umgebung mit hoher Belastung bis an ihre Grenzen zu bringen. Um dem entgegenzuwirken, verwenden wir hochreine Aluminium- oder Goldbeschichtungen, um die IR-Reflexion optimal auszunutzen. Der Vorteil: Durch die effektive Reflexion kann man die Lampen bei niedrigeren Temperaturen betreiben – dadurch entsteht weniger Druck auf das Glas. Und weniger Druck bedeutet, dass die Lampen nicht so schnell versagen.
Die Kompromisse, die Sie kennen sollten
Nichts ist perfekt. Ein tieferer Reflektor sorgt zwar für eine bessere Kontrolle der Wärmeabgabe, doch er nimmt auch mehr Platz in Anspruch. Überprüfen Sie daher unbedingt die Freiräume in Ihrer Maschine, bevor Sie die Reflektoren einbauen. Zudem können diese Reflektoren zwar Trümmer abhalten, doch sie können auch Wärme an den Enden der Lampe zurückhalten. Stellen Sie sicher, dass die Kühllüfter wirklich Luft durch das Gehäuse blasen – sonst könnten die Anschlüsse schmelzen.
Wir bauen diese Reflektoren so, dass sie den Anforderungen einer 24/7-Betriebsumgebung standhalten können. Wenn Sie diese Reflektoren in eine alte Anlage einbauen, stellen Sie sicher, dass die Leistung der Lampen zur thermischen Belastbarkeit der Reflektoren passt. Sie wollen schließlich nicht schon am ersten Tag Probleme mit dem Gehäuse haben.